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J-GLOBAL ID：200903087262427297

プローブカード

Inventor： 庄 雅彦 ,  新 祐一
Applicant, Patent owner： 株式会社日本マイクロニクス
Agent (1)： 松永 宣行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000206017
Publication number (International publication number)：2002022770
Application date： Jul. 07, 2000
Publication date： Jan. 23, 2002
Summary：

【要約】【目的】 温度上昇に起因する不規則な変形を可能な限り小さくすること【解決手段】 プローブカードは、集積回路のような被検査体の電極に接触される複数の接触子を一方の面の側に有するカード本体と、前記一方の面側に気体の流れを形成する流体流出口又は流体吸引口を前記一方の面側に有する1以上のガス流形成器とを含む。

Claim (excerpt)：

被検査体の電極に接触される複数の接触子を一方の面の側に有するカード本体と、前記一方の面側に気体の流れを形成する流体流出口又は流体吸引口を前記一方の面側に有する1以上のガス流形成器とを含む、プローブカード。

IPC (5)：

G01R 1/073 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (5)：

G01R 1/073 E ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K

F-Term (26)：

2G003AA07 ,  2G003AA10 ,  2G003AB01 ,  2G003AC03 ,  2G003AD04 ,  2G003AG04 ,  2G003AG12 ,  2G003AH07 ,  2G011AA02 ,  2G011AA17 ,  2G011AA21 ,  2G011AB08 ,  2G011AB10 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  2G032AB01 ,  2G032AB13 ,  2G032AF01 ,  2G032AL03 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD10 ,  4M106DD22

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• プローブカード
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-318962   Applicant：日本電気株式会社
• プローブカード
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-199066   Applicant：東芝マイクロエレクトロニクス株式会社, 株式会社東芝
• ICソケットの異物除去装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-013139   Applicant：九州日本電気株式会社