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J-GLOBAL ID：200903087339745785

シリコン赤外線透過窓、その製造方法および赤外線検知素子用気密パッケージ

Inventor： 佐藤 剛彦 ,  松野 繁 ,  山田 朗 ,  梅村 敏夫 ,  内川 英興 ,  曽根 孝典
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 朝日奈 宗太 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998349764
Publication number (International publication number)：2000171294
Application date： Dec. 09, 1998
Publication date： Jun. 23, 2000
Summary：

【要約】【課題】 シリコン窓材に対する極めて優れた密着性と機械的強度を有する接合部材を有したシリコン赤外線透過窓を提供する。【解決手段】 金属、或いは金属をコーティングした開口部をもつ他が密閉された容器へ接着することにより、真空状態で熱伝達を低減したパッケージを形成することができるシリコン赤外線透過窓であり、シリコンに対するチタン或いはクロムからなる金属による密着層、ハンダに対する拡散防止層、酸化防止金属層からなるメタライズ層、及びハンダ層を積層した構成からなる接合部材層をシリコン赤外線透過窓面の片側に形成する。

Claim (excerpt)：

金属、或いは金属をコーティングした開口部をもつ他が密閉された容器へ接着することにより、熱伝達を低減する雰囲気のパッケージを形成することができるシリコン赤外線透過窓であって、シリコンに対するチタン或いはクロムを主成分とした金属による密着層、ハンダに対する拡散防止層、酸化防止金属層からなるメタライズ層、及びハンダ層を積層した構成からなる接合部材層を窓面の片側に有することを特徴とするシリコン赤外線透過窓。

IPC (2)：

G01J 1/04 ,  H01L 27/14

FI (3)：

G01J 1/04 B ,  H01L 27/14 K ,  H01L 27/14 D

F-Term (13)：

2G065BA14 ,  2G065BA36 ,  2G065BA37 ,  2G065BA38 ,  2G065BB27 ,  2G065CA13 ,  2G065DA20 ,  4M118AA10 ,  4M118AB10 ,  4M118GA10 ,  4M118HA02 ,  4M118HA07 ,  4M118HA11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• シリコン板と金属の接合方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-316558   Applicant：新日本無線株式会社
• 装飾用金鏡の製作方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-255686   Applicant：田中貴金属工業株式会社
• 赤外線検出器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-047403   Applicant：三菱電機株式会社