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J-GLOBAL ID：200903087434842399

広帯域高周波誘電率測定方法およびその装置

Inventor：
田辺 英二

About 田辺 英二


Applicant, Patent owner：
株式会社エー・イー・ティー・ジャパン

About 株式会社エー・イー・ティー・ジャパン


Agent (1)： 井ノ口 壽
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003355062
Publication number (International publication number)：2005121422
Application date： Oct. 15, 2003
Publication date： May. 12, 2005
Summary：
【課題】広帯域高周波誘電率測定方法およびその装置を提供する。【解決手段】本発明による方法は、同軸開放先端をもつプローブ104を介して試料105に既知の広帯域高周波入射信号を印加したときに前記入射信号波形(Vi )、前記試料からの反射信号波(Vr )、前記プローブの負荷である前記試料のインピーダンス(Z)および前記プローブ104を含む供給路401の特性を示す供給路定数との間にZ=Fu(Vr ,Vi ,供給路定数)が成立することを利用したものである。ガウシアン分布をもつ入射信号(Vi )を発生する入射信号発生ステップと、同軸端形状の先端を有するプローブ104の先端の導体を試料105に接触させ前記試料105からの反射信号(Vr )を検出する。変換ステップで入射信号と反射信号をフーリェ変換する。前記変換結果をもとに前記Zを示す式から任意の周波数における前記Zの実数部からそれぞれ当該周波数におけるε’、虚数部からε”に相当する量を演算する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
同軸開放先端をもつプローブを介して試料に既知の広帯域高周波入射信号を印加したときに、前記入射信号波形(Vi )、前記試料からの反射信号波(Vr )、前記プローブの負荷である前記試料のインピーダンス(Z)および前記プローブを含む供給路の特性を示す供給路定数との間に Z=Fu(Vr ,Vi ,供給路定数)が成立することを利用して前記試料の複素誘電率ε=ε’+jε”を測定する方法であって、 ガウシアン分布をもつ入射信号(Vi )を発生する入射信号発生ステップと、同軸端形状の先端を有するプローブの先端の導体を試料に接触させ前記試料からの反射信号(Vr )を検出するステップと、 入射信号と反射信号をフーリェ変換する変換ステップと、および 前記変換結果をもとに、前記Zを示す式から任意の周波数における前記Zの実数部からそれぞれ当該周波数におけるε’、虚数部からε”に相当する量を演算する演算ステップと、を含む高周波誘電率測定方法。
IPC (1)：
G01R27/26
FI (1)：
G01R27/26 H
F-Term (8)：
2G028AA05 ,  2G028BB05 ,  2G028BF06 ,  2G028CG08 ,  2G028CG09 ,  2G028CG20 ,  2G028CG22 ,  2G028HM05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
  • 特開平2-110357
  • 誘電体誘電率および同調性の定量結像
    Gazette classification：公表公報   Application number：特願2001-523885   Applicant：ユニヴァーシティーオブメリーランド,カレッジパーク
  • 特開昭57-066322
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
  • FDTD法による電磁波およびアンテナ解析, 19980320, 初版, 46-51頁
  • マグローヒル科学技術用語大辞典, 20000315, 改訂第3版, p. 258

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