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J-GLOBAL ID：200903087758176219

塗布装置および塗布部材の製造方法、ならびに、カラーフィルタの製造装置および製造方法

Inventor：
川竹 洋

About 川竹 洋

, 
遠山 正治

About 遠山 正治


Applicant, Patent owner：
東レ株式会社

About 東レ株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998332507
Publication number (International publication number)：2000153205
Application date： Nov. 24, 1998
Publication date： Jun. 06, 2000
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】塗布液の粘度が10mPa・s以下であっても、塗布開始部の膜厚均一性の悪化や塗布むらが発生することなく、塗布速度の高速化が実現でき、更に、製造タクトタイムを短縮する。【解決手段】両リップの下端における間隙が、一方向に延びる吐出口を形成してなる塗布器40と、被塗布部材Aを支持する支持手段6及びその被塗布部材とを、吐出口の方向に対し実質的に直角な方向に、相対的に移動させる移動手段とを具備し、被塗布部材の表面に塗膜を形成する塗布装置において、両リップの吐出口66に連なり被塗布部材に対向する面を、進行方向からフロントリップエッジ面70およびリアリップエッジ面74としたとき、リアリップエッジ面の進行方向に沿った長さLrが、0.1mm以上、1.0mm未満であり、フロントリップエッジ面の進行方向に沿った長さLfが、長さLrよりも短い、ことを特徴とする保護膜塗布装置及び塗布方法。
Claim (excerpt)：
二つのリップが、所定のリップ間隙をもって対向して位置し、両リップの下端における前記間隙が、一方向に延びる吐出口を形成してなる塗布器と、該塗布器の吐出口に対向して隙間をもって被塗布部材の表面を位置せしめて該被塗布部材を支持する支持手段と、前記塗布器と前記支持手段に支持された被塗布部材とを、前記吐出口の方向に対し実質的に直角な方向に、相対的に移動させる移動手段とを具備し、前記被塗布部材の表面に前記吐出口から吐出される塗布液により塗膜を形成する塗布装置において、前記二つのリップのうち、前記被塗布部材の相対的な進行方向において、進行方向側に位置する方のリップをフロントリップとし、それとは反対側に位置する方のリップをリアリップとし、両リップの前記吐出口に連なり前記被塗布部材に対向する面を、それぞれ、フロントリップエッジ面およびリアリップエッジ面としたとき、a)該リアリップエッジ面の前記進行方向に沿った長さLrが、0.1mm以上、1.0mm未満であり、b)前記フロントリップエッジ面の前記進行方向に沿った長さLfが、前記長さLrよりも短い、ことを特徴とする塗布装置。
IPC (5)：
B05C 5/02 ,  B05D 1/26 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G03F 7/16 501
FI (5)：
B05C 5/02 ,  B05D 1/26 Z ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G03F 7/16 501
F-Term (30)：
2H025AA18 ,  2H025AB13 ,  2H025DA23 ,  2H025EA04 ,  2H048BA11 ,  2H048BA43 ,  2H048BB28 ,  2H048BB37 ,  2H091FA02Y ,  2H091FC29 ,  2H091GA16 ,  2H091LA16 ,  2H091LA30 ,  4D075AC16 ,  4D075AC92 ,  4D075BB92Y ,  4D075CA48 ,  4D075DA03 ,  4D075DB13 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA05 ,  4F041AA05 ,  4F041AA12 ,  4F041BA12 ,  4F041BA21 ,  4F041CA02 ,  4F041CA17 ,  4F041CA23 ,  4F041CA25
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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Cited by examiner (5)
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