基板清浄化方法および基板収納装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：須山佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994291070
Publication number (International publication number)：1996148551
Application date： Nov. 25, 1994
Publication date： Jun. 07, 1996
Summary：

【要約】【目的】基板収納装置内に保管された基板上の有機物や非金属イオンの汚染に対し、清浄度を保持し、さらに向上し得る基板清浄化方法と基板収納装置を提供する。【構成】ウェーハを収納している基板収納装置1内の雰囲気気体を循環させ、その気体流路に設けられたフィルタエレメントホルダー10、11に装着されている粒状並びにシート状(13a)のガス状不純物捕捉体エレメントと微粒子除去用メンブレンフィルタエレメント13bで清浄化することにより、基板表面の清浄度を向上させる。

Claim (excerpt)：

雰囲気気体を出入りさせる気体排出孔と気体送入孔とを有する基板収納密閉ケースに基板を収納し、前記基板収納密閉ケースの気体送入孔からガス状不純物を除去した気体を送入するとともに前記気体排出孔から該気体を排出させることにより、前記基板をガス状不純物のない雰囲気下に置くことを特徴とする基板清浄化方法。

IPC (2)：

H01L 21/68 , G02F 1/1333 500

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

基板の運搬兼保管箱
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-255175 Applicant：松下電器産業株式会社
鏡面ウエハ運搬用収納容器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-133676 Applicant：日立電線株式会社
気体清浄化手段を有する搬送装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-056323 Applicant：荏原インフィルコ株式会社, 株式会社荏原総合研究所

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