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J-GLOBAL ID:200903087960485789

耐食性部材

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 大川 宏
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005288664
Publication number (International publication number):2007100135
Application date: Sep. 30, 2005
Publication date: Apr. 19, 2007
Summary:
【課題】非晶質炭素が本来もつ耐酸性、耐アルカリ性、耐薬品性などの耐食性が十分に発揮される、優れた耐食性部材を提供する。【解決手段】本発明の耐食性部材3は、基材1と、基材1の表面に固定され、厚さ方向に貫通する複数の欠陥Aの占める面積率が10-2%以下である非晶質炭素からなる耐食性被膜2と、からなり、耐食性部材3の電気抵抗率が108 Ω・cm以上である。 また、耐食性被膜2は、それぞれの欠陥Aの面積が100μm2 以下であれば、耐食性部材としての信頼性が高まり、好ましい。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
基材と、 該基材の表面に固定され、厚さ方向に貫通する複数の欠陥の占める面積率が10-2%以下である非晶質炭素からなる耐食性被膜と、 からなり、電気抵抗率が108 Ω・cm以上であることを特徴とする耐食性部材。
IPC (1):
C23C 16/27
FI (1):
C23C16/27
F-Term (9):
4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA17 ,  4K030BA28 ,  4K030BB05 ,  4K030CA02 ,  4K030CA12 ,  4K030FA03 ,  4K030JA01
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2) Cited by examiner (1)

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