フィルム状感光性材料の光活性保持方法及びプリント配線板の製造法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：若林邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994306053
Publication number (International publication number)：1996160638
Application date： Dec. 09, 1994
Publication date： Jun. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】再現性良く高効率で、減圧下で積層されたフィルム状感光性材料への活性光照射ができる方法及びこれを用いたプリント配線板の製造法を提供する。【構成】減圧下で基材上に積層されたフィルム状感光性材料の活性光線照射までの保持及び活性光線照射を化学的に不活性な雰囲気下で行うことを特徴とするフィルム状感光性材料の光活性保持方法及びこの方法を用いたプリント配線板の製造法。

Claim (excerpt)：

減圧下で基材上に積層されたフィルム状感光性材料の活性光線照射までの保持及び活性光線照射を化学的に不活性な雰囲気下で行うことを特徴とするフィルム状感光性材料の光活性保持方法。

IPC (4)：

G03F 7/38 501 , G03F 7/16 , G03F 7/26 , H05K 3/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (17)

プリント回路板の製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-141886 Applicant：日立化成工業株式会社
感光性レジストフィルム及びこれを用いたプリント配線板の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-355748 Applicant：日立エーアイシー株式会社
感光性フィルムの積層方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-055697 Applicant：三菱レイヨン株式会社

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