Pat
J-GLOBAL ID:200903088300341640
ホログラム位置合わせマーク及びその作製方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
韮澤 弘 (外7名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998209797
Publication number (International publication number):2000039516
Application date: Jul. 24, 1998
Publication date: Feb. 08, 2000
Summary:
【要約】【課題】 ホログラム原版の位置合わせマーク位置からずれることがないホログラム複製法により作製されるホログラム位置合わせマークとその作製方法。【解決手段】 ホログラム21と同一基板上に設けられた位置合わせマーク22であって、所定の外形を有する反射型ホログラムからなる。その反射型ホログラムは干渉縞がホログラム層の面に平行に並んでなる。
Claim (excerpt):
ホログラムと同一基板上に設けられた位置合わせマークであって、所定の外形を有する反射型ホログラムからなることを特徴とするホログラム位置合わせマーク。
IPC (3):
G02B 5/32
, G02B 5/20 101
, G03H 1/20
FI (3):
G02B 5/32
, G02B 5/20 101
, G03H 1/20
F-Term (21):
2H048BA01
, 2H048BA48
, 2H048BA64
, 2H048BB02
, 2H048BB08
, 2H048BB10
, 2H048BB42
, 2H049CA01
, 2H049CA08
, 2H049CA09
, 2H049CA15
, 2H049CA17
, 2H049CA22
, 2H049CA28
, 2K008AA17
, 2K008BB04
, 2K008EE01
, 2K008EE04
, 2K008GG01
, 2K008HH16
, 2K008HH25
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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アライメントマークとアライメント方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-223081
Applicant:大日本印刷株式会社
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ホログラフィを用いた露光方法及び装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-202473
Applicant:株式会社ニコン
-
特開平2-259684
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