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J-GLOBAL ID:200903088483394128
複屈折評価装置および複屈折評価方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
波多野 久 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999322866
Publication number (International publication number):2001141602
Application date: Nov. 12, 1999
Publication date: May. 25, 2001
Summary:
【要約】【課題】測定対象の複屈折測定において、そこで使用される光信号の1波長よりも大きな複屈折を所望の精度で測定する。【解決手段】複屈折評価装置は、測定対象Saの複屈折に関する情報を担う光信号を取得する光学系(白色光源1、偏光子2、検光子3、及び分光器4)と、この光学系により取得された光信号に基づいてその波数に対して余弦状に変化する成分の周期を解析し、その解析データから測定対象Saの所定の波長領域における複屈折を求める複屈折解析手段(PC5)とを備える。
Claim (excerpt):
測定対象の複屈折に関する情報を担う光信号を取得する光学系と、この光学系により取得された光信号に基づいてその波数に対して余弦波状に変化する成分の周期を解析し且つその解析データから前記測定対象の所定の波長領域における複屈折を求める複屈折解析手段と、を備えたことを特徴とする複屈折評価装置。
IPC (2):
FI (2):
G01M 11/00 T
, G01N 21/23
F-Term (15):
2G059AA02
, 2G059BB10
, 2G059EE05
, 2G059HH02
, 2G059JJ05
, 2G059JJ06
, 2G059JJ19
, 2G059JJ20
, 2G059KK04
, 2G059MM01
, 2G059MM04
, 2G059MM09
, 2G059PP01
, 2G086EE07
, 2G086EE12
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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特開昭61-280549
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複屈折測定装置及び複屈折測定方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-312008
Applicant:株式会社リコー
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特開平4-307312
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