電界放出陰極、電子放出素子および電界放出陰極の製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998255519
Publication number (International publication number)：2000090809
Application date： Sep. 09, 1998
Publication date： Mar. 31, 2000
Summary：

【要約】【課題】低電界動作が可能で、かつ微細構造の電界放出陰極を提供する。【解決手段】カーボンナノチューブ1をレジスト2に懸濁させてレジスト2中に分散させ、次いでレジスト2を導電性基板4上にコートし、次いでレジスト2の懸濁樹脂層5表面をカーボンナノチューブ1を残して選択的にエッチバックすることによりカーボンナノチューブ1の先端を突出させ、次いでコートされたレジスト2を硬化してレジスト2の電気抵抗を減少させる。

Claim (excerpt)：

少なくとも一部が導電性を有する基板と、この導電性基板上に形成され、複数の導電性極細物質が分散して形成されてなる非晶質の導電性樹脂由来炭素系マトリクス層とを具備してなり、前記導電性極細物質の先端が前記マトリクス層の表面から突出してなることを特徴とする電界放出陰極。

IPC (3)：

H01J 1/304 , H01J 1/30 , H01J 9/02

FI (3)：

H01J 1/30 F , H01J 1/30 A , H01J 9/02 B

F-Term (2)：

5C035BB01 , 5C035BB03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

電界放出陰極及びその形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-342416 Applicant：三菱電機株式会社
電界放出型冷陰極装置、その製造方法及び真空マイクロ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-249096 Applicant：株式会社東芝
微小冷陰極管とその駆動方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-236046 Applicant：株式会社東芝

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