Pat
J-GLOBAL ID：200903088768617767
光画像計測装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
三澤 正義
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004052195
Publication number (International publication number)：2005241464
Application date： Feb. 26, 2004
Publication date： Sep. 08, 2005
Summary：
【課題】 干渉光の検出結果に基づいて背景光からなる直流成分の強度を算出でき、それを用いて干渉光の信号強度及び位相の空間分布を求めることが可能な光画像計測装置を提供する。【解決手段】 光ビームをビームスプリッタ5で信号光Sと参照光Rに分割し、周波数シフタ6により参照光Rの周波数をシフトさせ、被測定物体Oを経由した信号光Sと参照光Rとを重畳させて干渉光Lを生成する干渉光学系と、干渉光Lを3つの干渉光L1、L2、L3に分割するビームスプリッタ11、12と、干渉光L1、L2、L3を所定の周期で遮断してサンプリングするシャッタ31、32、33と、サンプリングされた干渉光L1、L2、L3を検出し電気信号に変換して出力する光検出器21、22、23と、当該電気信号に基づいて干渉光Lの信号強度と位相の空間分布を演算する信号処理部60とを備えている。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
光ビームを出射する光源と、この光源から出射された光ビームを、被測定物体を経由する信号光と所定の参照物体を経由する参照光とに分割し、前記信号光の周波数と前記参照光の周波数とを相対的にシフトさせた後に、前記被測定物体を経由した前記信号光と前記参照物体を経由した前記参照光とを互いに重畳させて干渉光を生成する干渉光学系とを含んでなり、前記干渉光に基づいて前記被測定物体の画像を形成する光画像計測装置であって、
前記干渉光学系により生成された前記干渉光を少なくとも3つの光路に分割する手段と、この分割された3つの前記干渉光をそれぞれ所定の周期でサンプリングして検出し電気信号として出力する手段とを有するサンプリング手段と、
前記サンプリング手段により出力された前記電気信号に基づいて前記干渉光の信号強度及び位相の空間分布を演算する演算手段と、
を備えていることを特徴とする光画像計測装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N21/17 630
, G01B11/24 D
2F065AA51
, 2F065DD06
, 2F065FF04
, 2F065FF44
, 2F065FF51
, 2F065GG07
, 2F065HH04
, 2F065JJ26
, 2F065LL12
, 2F065LL30
, 2F065LL46
, 2G059AA05
, 2G059BB12
, 2G059DD12
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059EE09
, 2G059EE11
, 2G059FF01
, 2G059GG10
, 2G059JJ11
, 2G059JJ13
, 2G059JJ22
, 2G059JJ23
, 2G059KK04
, 2G059MM01
, 2G059MM09
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (2)
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