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J-GLOBAL ID:200903088807652796

窒化物半導体の成長方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 船橋 國則
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001245134
Publication number (International publication number):2003059835
Application date: Aug. 13, 2001
Publication date: Feb. 28, 2003
Summary:
【要約】【課題】 結晶状態の良好な窒化物半導体を、結晶性の窒化物半導体基板上に成長させることが可能な窒化物半導体の成長方法を提供する。【解決手段】 結晶性の窒化物半導体基板上に窒化物半導体を成長させる方法であって、基板を昇温させると共に、当該基板が1200°Cを越える前に当該基板表面への原料ガスの供給を開始することで当該基板上への窒化物半導体の成長を開始させる。この際、基板が300°Cに達した以降に当該基板上への窒化物半導体の成長を開始させる。また、窒素原料ガスの供給を開始した以降でかつ前記基板が1200°Cを越える前に、窒素原料ガス以外の他の原料ガスの供給を開始することで当該基板上への窒化物半導体の成長を開始させる。
Claim (excerpt):
結晶性の窒化物半導体からなる基板上に窒化物半導体を成長させる方法であって、前記基板を加熱すると共に、当該基板が1200°Cを越える前に当該基板表面への原料ガスの供給を開始することで当該基板上への窒化物半導体の成長を開始させることを特徴とする窒化物半導体の成長方法。
F-Term (16):
5F045AA04 ,  5F045AB14 ,  5F045AC08 ,  5F045AC12 ,  5F045AD15 ,  5F045AF04 ,  5F045AF09 ,  5F045BB12 ,  5F045CA10 ,  5F045CA12 ,  5F045DA53 ,  5F045DA67 ,  5F045DP07 ,  5F045EB13 ,  5F045EE18 ,  5F045GB05
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

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