加速度計

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：松隈秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998291882
Publication number (International publication number)：2000121660
Application date： Oct. 14, 1998
Publication date： Apr. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】構造及び製造が簡単で且つ誤差が少ない共振型加速度計を提供することを目的とする。【解決手段】上蓋及び下蓋と、該2つの蓋の間にて片持ち支持された梁と、該梁に形成された表面弾性波共振器を含み、該表面弾性波共振器の共振周波数の変化によって加速度を検出するように構成された加速度計において、梁の固定端部は上蓋及び下蓋に形成された突起部の間に挟まれて支持され、梁、上蓋及び下蓋は貫通するねじによって互いに接合されてセンサユニットが構成され、該センサユニットはねじによって固定壁に装着されている。

Claim (excerpt)：

上蓋及び下蓋と、該2つの蓋の間にて片持ち支持された梁と、該梁に形成された表面弾性波共振器を含み、該表面弾性波共振器の共振周波数の変化によって加速度を検出するように構成された加速度計において、上記梁の固定端部は上記上蓋及び下蓋の内面に形成された突起部の間に挟まれて支持され、上記梁、上蓋及び下蓋は貫通するねじによって互いに接合されてセンサユニットが構成され、該センサユニットは上記ねじによって固定壁に装着されるように構成されていることを特徴とする加速度計。

IPC (2)：

G01P 15/08 , H03H 9/25

FI (3)：

G01P 15/08 B , H03H 9/25 C , H03H 9/25 A

F-Term (4)：

5J097AA29 , 5J097AA33 , 5J097BB01 , 5J097HA04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開平4-273068
加速度計及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-297295 Applicant：株式会社トキメック
片持梁式加速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-119939 Applicant：株式会社日立製作所, 日立オートモテイブエンジニアリング株式会社

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