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J-GLOBAL ID:200903089343114105

カーボンナノチューブのパターン形成方法およびそのパターン形成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004309847
Publication number (International publication number):2005150107
Application date: Oct. 25, 2004
Publication date: Jun. 09, 2005
Summary:
【課題】 高精細なCNTのパターンを、焼成時にCNTを酸化させることなく、しかも有機成分残渣を生じることなく形成し得る方法を提供すること。【解決手段】 本発明に係るCNTのパターン形成方法は、基板上にカーボンナノチューブと溶媒を含むスラリーを塗布し乾燥することにより粉体層を形成する粉体層形成工程、前記粉体層形成工程で得られた粉体層上にインクジェット法によりバインダーをパターン印刷するバインダー印刷工程、前記バインダー印刷工程においてバインダーが印刷されなかった粉体層の部分のみを基板上から除去することにより前記粉体層のパターンを形成するパターン形成工程、および前記パターン形成方法で得られたパターンを焼成する工程、を経ることを特徴とする。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
基板上にカーボンナノチューブと溶媒を含むスラリーを塗布し乾燥することにより粉体層を形成する粉体層形成工程、前記粉体層形成工程で得られた粉体層上にインクジェット法によりバインダーをパターン印刷するバインダー印刷工程、前記バインダー印刷工程においてバインダーが印刷されなかった粉体層の部分のみを基板上から除去することにより前記粉体層のパターンを形成するパターン形成工程、および前記パターン形成方法で得られたパターンを焼成する工程、を経ることを特徴とするカーボンナノチューブのパターン形成方法。
IPC (2):
H01J9/02 ,  H01J1/304
FI (2):
H01J9/02 B ,  H01J1/30 F
F-Term (15):
5C127AA01 ,  5C127BA09 ,  5C127BA15 ,  5C127BB07 ,  5C127CC07 ,  5C127DD13 ,  5C127DD17 ,  5C127DD19 ,  5C127DD63 ,  5C127DD64 ,  5C127EE20 ,  5C135AA09 ,  5C135AA15 ,  5C135AB07 ,  5C135HH20
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3) Cited by examiner (1)

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