パターン形状検査装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：平木祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995343083
Publication number (International publication number)：1997184715
Application date： Dec. 28, 1995
Publication date： Jul. 15, 1997
Summary：

【要約】【課題】パターン形状の異常を迅速かつ確実に検知できるようにする。【解決手段】試料7の像を形成して表示装置37に表示し、試料上に形成されたパターン形状を検査する。観察領域に対応した参照用画像をディスク35に記憶し、観察時に参照用画像を読み出して試料像とともに表示装置37に表示する。

Claim (excerpt)：

試料像を形成して表示装置に表示し、試料上に形成されたパターン形状を検査するためのパターン形状検査装置において、観察領域に対応した参照用画像を記憶する手段と、観察時に前記参照用画像を前記試料像とともに前記表示装置に表示する手段とを備えることを特徴とするパターン形状検査装置。

IPC (5)：

G01B 15/04 , G06T 7/00 , H01L 21/027 , H01L 21/66 , H01J 37/22 502

FI (5)：

G01B 15/04 , H01L 21/66 J , H01J 37/22 502 A , G06F 15/70 455 B , H01L 21/30 502 V

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開昭53-083767
特開昭52-032676
画像のアライメント補正方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-119226 Applicant：株式会社アドバンテスト

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