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J-GLOBAL ID：200903089563341153

スペックルを減少する物体検査用の装置及び方法

Inventor：
ボアズ ケーナン

About ボアズ ケーナン

, 
アヴネル カルポル

About アヴネル カルポル


Applicant, Patent owner：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

About アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド


Agent (1)： 中村 稔 (外9名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000391608
Publication number (International publication number)：2001274081
Application date： Nov. 17, 2000
Publication date： Oct. 05, 2001
Summary：
【要約】【課題】 ウエハ、マスク、ホトマスクおよびレチクルを含む半導体デバイスの製造に用いられる製品の検査中にスペックルを減少するための方法および装置を提供する。【解決手段】 コヒーレントな光源4、例えばパルス化されたレーザによって出力される光ビームのコヒーレンスが、光路に素子30を配置することによって減少される。このような素子の例は、光ファイバの束、光学的光ガイド、光格子、統合した球体、および音響-光変調器を含む。これらの素子が所望により組合され、素子の組合せによって出力された光ビームは、コヒーレントな光ビームによって出力された光ビームのコヒーレンス長より大きい光路長の差を有する。
Claim (excerpt)：
半導体デバイスの製造に用いられるパターン化された物体の検査において、スペックルを減少する方法であって、照射ビームと前記パターン化された物体間の相対的移動を行なうステップ、前記照射ビームは、少なくとも部分的にコヒーレンスを乱すように、コヒーレントな光ビームを変更することによって得られ、前記コヒーレントな光ビームの変更は、照射ビーム源とパターン化された物体の間の光路に沿って、複数の光ファイバの束をシーケンシャルに設けるステップを有し、前記複数の光ファイバの束は、所定の数のファイバを有し、前記ファイバの各々は、入力と出力を有し、前記複数の束の第1の束のファイバの各々は、前記入力を通して前記コヒーレントな光ビームを受け、且つ前記複数の束の最後の束のファイバの各々は、前記出力を通して出力ビームを送り、各々の束における何れか2つのファイバ間の光路長の差は、前記コヒーレントな光ビームのコヒーレント長より大きいことを特徴とする方法。
IPC (4)：
H01L 21/027 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66 ,  G01N 21/956
FI (4)：
G01B 11/30 A ,  H01L 21/66 J ,  G01N 21/956 A ,  H01L 21/30 502 V
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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