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J-GLOBAL ID：200903089609258949

X線照射を用いた材料の加工方法及び加工装置

Inventor：
田畑 修

About 田畑 修


Applicant, Patent owner：
学校法人立命館

About 学校法人立命館


Agent (1)： 渡辺 三彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998202223
Publication number (International publication number)：2000035500
Application date： Jul. 16, 1998
Publication date： Feb. 02, 2000
Summary：
【要約】【課題】 連続的または段階的に変化する傾斜を有する加工を実現する材料の加工方法及び装置を提供すること。【解決手段】 材料16bにX線を照射することにより該材料16bを除去し、あるいは材料16bの物理的・化学的性質を変化させるX線照射を用いた材料の加工方法において、上記材料16bの表面16fと平行な平面内における上記X線のエネルギー分布が連続的に変化するように制御することにより、上記材料16bの各部で上記X線のエネルギー分布に応じた深さの加工を行うようにしたX線照射を用いた材料の加工方法及びその加工装置。
Claim (excerpt)：
材料にX線を照射することにより該材料を除去し、あるいは上記材料の物理的・化学的性質を変化させるX線照射を用いた材料の加工方法において、上記材料の表面と平行な平面内における上記X線のエネルギー分布が連続的に変化するように制御することにより、上記材料の各部で上記X線のエネルギー分布に応じた深さの加工を行うことを特徴とするX線照射を用いた材料の加工方法。
IPC (3)：
G21K 5/02 ,  G03F 7/20 503 ,  H01L 21/027
FI (3)：
G21K 5/02 X ,  G03F 7/20 503 ,  H01L 21/30 531 E
F-Term (15)：
2H097AA12 ,  2H097AB01 ,  2H097BB01 ,  2H097CA15 ,  2H097LA15 ,  5F046CC02 ,  5F046CC13 ,  5F046DA02 ,  5F046DA16 ,  5F046GA06 ,  5F046GC04 ,  5F046GD01 ,  5F046GD02 ,  5F046GD03 ,  5F046GD14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)
  • X線リソグラフィ用マスク
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-070456   Applicant：住友電気工業株式会社
  • X線3次元加工装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-048675   Applicant：株式会社ニコン
  • 特開昭59-172723

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