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J-GLOBAL ID：200903089936758815

走査型ケルビンプローブ顕微鏡

Inventor：
渡辺 和俊

About 渡辺 和俊


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000070655
Publication number (International publication number)：2000329680
Application date： Mar. 14, 2000
Publication date： Nov. 30, 2000
Summary：
【要約】【課題】 走査型ケルビンプローブ顕微鏡において、試料表面の電位情報を検出する場合に不要となる周波数成分を抑圧し、測定される試料表面の電位情報のS/Nを向上させることを目的とする。【解決手段】 試料表面の凹凸を測定する場合には、導電性カンチレバー探針2を振動させるための交流信号と、試料の電位情報を測定するために導電性カンチレバー探針と試料間に印可する交流電圧信号を同時に作用させ、電位情報測定時には、導電性カンチレバー探針と試料間に交流電圧信号を作用させ、試料表面を走査測定することを特徴とする走査型ケルビンプローブ顕微鏡。
Claim (excerpt)：
導電性カンチレバー探針と試料間に作用する物理量を検出して試料表面の形状及び試料の電位情報を測定する走査型ケルビンプローブ顕微鏡において、試料表面の凹凸情報を測定する場合には、導電性カンチレバー探針を振動させるための交流信号と、導電性カンチレバー探針と試料間に印可する交流電圧信号の両方を作用させ、電位情報測定時には、前記交流信号のうち、前記導電性カンチレバー探針と試料間に印加する交流電圧信号のみを作用させて試料表面を走査測定することを特徴とする走査型ケルビンプローブ顕微鏡。
IPC (4)：
G01N 13/16 ,  G01B 7/34 ,  G01R 29/12 ,  G12B 21/02
FI (4)：
G01N 13/16 A ,  G01B 7/34 Z ,  G01R 29/12 F ,  G12B 1/00 601 A
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
  • 表面電位計及び形状測定器、力顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-052409   Applicant：株式会社リコー
  • 表面電位測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-009536   Applicant：株式会社日立製作所
  • 物性情報測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-348584   Applicant：セイコー電子工業株式会社
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Cited by examiner (4)
  • 表面電位計及び形状測定器、力顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-052409   Applicant：株式会社リコー
  • 表面電位測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-009536   Applicant：株式会社日立製作所
  • 物性情報測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-348584   Applicant：セイコー電子工業株式会社
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