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J-GLOBAL ID：200903090021597877

光導波路型グレーティングおよびその製法ならびに前記光導波路型グレーティングを用いた光フィルタおよび該光フィルタを用いた波長多重光伝送システム

Inventor： 吉新 喜市 ,  高林 正和 ,  竹谷 元 ,  今田 勝大 ,  内川 英興
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 朝日奈 宗太 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996307824
Publication number (International publication number)：1998148726
Application date： Nov. 19, 1996
Publication date： Jun. 02, 1998
Summary：

【要約】【課題】 光誘起による屈折率変化を利用して石英系光導波路に作製したグレーティングの温度依存性を改善する光導波路型グレーティングおよびその製法ならびにこのグレーティングを用いた光フィルタならびにこの光フィルタを用いた波長多重光伝送システムを提供する。【解決手段】 原料としてSiのアルコキシド、たとえばTEOSを主に用いて、CVD法により、コアおよびクラッドを形成し、そののち、位相マスクを介して、エキシマレーザを照射し、グレーティング13をコアに形成し、クロムまたは白金の薄膜ヒータ(ヒータ電極14a、入出力電極14b、電流リード14c)を光導波路上に作製し、薄膜ヒータへの電流制御でグレーティングのブラッグ中心波長の微調整を行い、高密度波長多重された光信号に対応した光フィルタを作製する。

Claim (excerpt)：

コアおよびクラッドからなり、SiO2を主成分とし、Ge、B、PおよびSnの各酸化物の少なくとも1つの酸化物を含む光導波路に形成される光導波路型グレーティングであって、前記コアおよびクラッドの少なくとも1つに、ZrおよびTiの各酸化物の少なくとも1つの酸化物が添加されてなることを特徴とする光導波路型グレーティング。

IPC (5)：

G02B 6/10 ,  G02B 6/00 376 ,  G02B 6/12 ,  G02B 6/16 ,  G02B 6/293

FI (6)：

G02B 6/10 C ,  G02B 6/00 376 B ,  G02B 6/16 ,  G02B 6/12 N ,  G02B 6/12 F ,  G02B 6/28 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 光回路部品
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-227075   Applicant：日本電信電話株式会社
• 導波路型光フィルタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-255444   Applicant：住友電気工業株式会社