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J-GLOBAL ID:200903090180607140

イオン源

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 山本 惠二
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995207633
Publication number (International publication number):1997035650
Application date: Jul. 21, 1995
Publication date: Feb. 07, 1997
Summary:
【要約】【課題】 第2プラズマ生成容器内におけるガスの電離効率をより高めることを可能にしたイオン源を提供する。【解決手段】 中間電極8の材質を高融点金属とし、この中間電極8の先端部8aを、絶縁物34の第2プラズマ生成容器10側の面より突き出して、第2プラズマ生成容器10内に突出させた。かつ、この中間電極8に第2プラズマ生成容器10に対して負電圧を印加する直流電源40を設けた。
Claim (excerpt):
第1プラズマ生成容器と、この第1プラズマ生成容器内に設けられたカソードとしてのフィラメントと、第1プラズマ生成容器に隣接して設けられていてアノードを兼ねる第2プラズマ生成容器と、第1プラズマ生成容器と同電位のものであって、第1プラズマ生成容器内と第2プラズマ生成容器内とを連通させるノズル状の中間電極と、第2プラズマ生成容器内において中間電極の先端部に対向して設けられていて、浮遊電位、中間電極電位またはフィラメント電位に保たれる反射電極と、この反射電極または第2プラズマ生成容器に設けられたイオン引出し口と、このイオン引出し口の出口近傍に設けられていて、第2プラズマ生成容器内から当該イオン引出し口を通してイオンビームを引き出す引出し電極と、第1プラズマ生成容器内から第2プラズマ生成容器内にかけての領域に、中間電極の中心軸に沿う方向の磁界を発生させる磁界発生器とを備えるイオン源において、前記中間電極の材質を高融点金属とし、この中間電極の先端部を第2プラズマ生成容器内に突出させ、かつこの中間電極に第2プラズマ生成容器に対して負電圧を印加する直流電源を設けたことを特徴とするイオン源。
IPC (2):
H01J 27/08 ,  H01J 37/08
FI (2):
H01J 27/08 ,  H01J 37/08
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • イオン源
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-315295   Applicant:日新電機株式会社
  • 特開平3-163734
  • イオン源
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-306816   Applicant:日新電機株式会社

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