イオン源

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：原謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993315295
Publication number (International publication number)：1995169425
Application date： Dec. 15, 1993
Publication date： Jul. 04, 1995
Summary：

【要約】【構成】第1放電室4でのアーク放電により生成されたプラズマの電子を利用して、第2放電室5で電離を行なう。このとき、第1放電室4で得られたプラズマ電子は、ソレノイド2による磁界とアノード10による電界との作用を受けて旋回しながら中間電極6と反射電極14との間を往復飛行して閉じ込められる。これにより、電離効率が高まりイオンの収率が向上する。また、ノズル口6aおよび反射電極14がアークチャンバ1の中心に対して引出スリット11寄りに設けられていることにより、プラズマ軸が引出スリット11に近くなり、ノズル口6aと反射電極14との中間部位に多く分布する多価イオンが引出スリット11から引き出される。また、第1放電室4におけるアーク電圧を低く抑えることにより、フィラメント7が電子によりスパッタされるエネルギーを低減させる。【効果】陰極の長寿命化を図るとともに多価イオンの収率を高めることができる。

Claim (excerpt)：

気体放電を生じさせてプラズマを生成する第1および第2放電室と、上記第1放電室内に設けられて電子を放出する陰極と、上記第1放電室と上記第2放電室との間に設けられ、上記両放電室を連通させるノズル状の開口部を有するとともに、上記陰極より高電位に保たれる中間電極と、上記第2放電室に設けられて上記陰極および中間電極より高電位に保たれる陽極と、上記第2放電室において上記中間電極の開口部と対向して設けられ、上記中間電極と同電位に保たれる反射電極と、上記第1および第2放電室に対しプラズマの軸方向に沿って磁場を与える磁場発生器とを備え、上記第2放電室が上記中間電極と上記反射電極とのほぼ中間部位においてプラズマの軸方向に直交する方向にイオンを引き出す引出口を有する一方、上記中間電極の開口部および反射電極が上記引出口寄りに配置されていることを特徴とするイオン源。

IPC (2)：

H01J 37/08 , H01J 27/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

イオン注入装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-089756 Applicant：東京エレクトロン株式会社
イオン注入装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-080512 Applicant：東京エレクトロン株式会社
特開平2-005331

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