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J-GLOBAL ID：200903090310821637

単結晶ダイヤモンド

Inventor：
山本 喜之

About 山本 喜之

, 
目黒 貴一

About 目黒 貴一

, 
今井 貴浩

About 今井 貴浩


Applicant, Patent owner：
住友電気工業株式会社

About 住友電気工業株式会社


Agent (4)： 酒井 正己 ,  小松 秀岳 ,  加々美 紀雄 ,  小松 純
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003402410
Publication number (International publication number)：2005162525
Application date： Dec. 02, 2003
Publication date： Jun. 23, 2005
Summary：
【課題】結晶全体にわたって、250nmまでの紫外域において透明で、かつ結晶欠陥や歪み、不純物の小さいダイヤモンド単結晶の提供。【解決手段】単結晶ダイヤモンドを、結晶全体にわたり、(400)面X線ロッキングカーブの半値幅が10〜80秒の範囲内にあり、炭素原子に対する水素原子の数が10〜100ppm、炭素原子に対する窒素原子の数が5ppm以下、光散乱トモグラフ法によって評価した結晶欠陥の数を1平方センチメートルあたり1×105個以下であるようにする。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
結晶全体にわたり、 (400)面X線ロッキングカーブの半値幅が10〜80秒の範囲内にあり、かつ 炭素原子に対する水素原子の数が、10〜100ppmの範囲内にあり、かつ 炭素原子に対する窒素原子の数が 5ppm以下である ことを特徴とする単結晶ダイヤモンド。
IPC (2)：
C30B29/04 ,  C23C16/27
FI (2)：
C30B29/04 E ,  C23C16/27
F-Term (20)：
4G077AA02 ,  4G077AA03 ,  4G077AB01 ,  4G077AB02 ,  4G077AB03 ,  4G077AB08 ,  4G077AB09 ,  4G077BA03 ,  4G077DB19 ,  4G077HA01 ,  4G077HA12 ,  4G077TA04 ,  4K030AA09 ,  4K030AA17 ,  4K030BA28 ,  4K030FA01 ,  4K030JA09 ,  4K030JA10 ,  4K030LA01 ,  4K030LA11
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • 特開平3-75298号公報
  • ダイヤモンド単結晶
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-162085   Applicant：住友電気工業株式会社
Cited by examiner (4)
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