反射防止機能素子、光学素子、光学系および光学機器

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岸田正行 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000380709
Publication number (International publication number)：2002182003
Application date： Dec. 14, 2000
Publication date： Jun. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】微細周期構造により優れた反射防止機能を有するとともに、微細周期構造の耐久性を併せ持つ反射防止機能素子が望まれている。【解決手段】基材3の表面に入射光の波長より小さい周期の周期構造2を設けるとともに、その周期構造上に、基材の屈折率より小さい屈折率を持つ付加層4を設けて反射防止機能素子を構成する。また、付加層4にも、入射光の波長より小さい周期の周期構造を持たせる。

Claim (excerpt)：

基材の表面に入射光の波長より小さい周期の周期構造を有するとともに、前記周期構造上に付加された、前記基材の屈折率より小さい屈折率を持つ付加層を有することを特徴とする反射防止機能素子。

IPC (2)：

G02B 1/11 , B81B 1/00

FI (2)：

B81B 1/00 , G02B 1/10 A

F-Term (5)：

2K009AA04 , 2K009BB14 , 2K009CC06 , 2K009DD11 , 2K009DD12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

反射防止膜およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-108235 Applicant：旭硝子株式会社
光学部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-270062 Applicant：株式会社ニコン
特開平3-150501

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