表面形状測定装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：重信和男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001359677
Publication number (International publication number)：2003161615
Application date： Nov. 26, 2001
Publication date： Jun. 06, 2003
Summary：

【要約】【課題】高速で高精度な表面形状測定装置の提供【解決手段】試料110は、スピンドル120に搭載されて、回転させることができる。センサ・ユニット140は、リニア・センサ・キャリッジ130によりX方向に動き、試料110がスピンドル120により回転しているときに、試料表面を走査する。センサ・ユニット140中には2つの2次元角度センサが距離D離れて設置されている。この構成により、2つの2次元角度センサを用いて試料の表面を走査し、表面の局所傾斜角度の変化を計測することにより、キャリッジやスピンドルの運動誤差を取り除いて、正確な表面形状を得ることができる。

Claim (excerpt)：

表面形状測定装置であって、表面形状の測定対象を回転させるスピンドルと、センサ・ユニットを直線に移動させるセンサ・キャリッジと、前記センサ・ユニットに格納され、前記測定対象の近接した2点の局所2次元傾斜角度を計測する2つの2次元角度センサとを備え、前記スピンドルと前記センサ・キャリッジの相対運動により前記測定対象の表面を走査し、前記測定対象に対する測定位置及び前記2つの2次元角度センサからの出力により、前記測定対象の表面形状を求めることを特徴とする表面形状測定装置。

IPC (3)：

G01B 21/30 101 , G01B 11/26 , G01B 21/20

FI (3)：

G01B 21/30 101 F , G01B 11/26 Z , G01B 21/20 C

F-Term (51)：

2F065AA01 , 2F065AA19 , 2F065AA20 , 2F065AA31 , 2F065AA47 , 2F065AA53 , 2F065BB03 , 2F065CC19 , 2F065DD06 , 2F065EE11 , 2F065FF16 , 2F065FF17 , 2F065FF23 , 2F065FF42 , 2F065FF61 , 2F065FF67 , 2F065GG06 , 2F065HH03 , 2F065HH04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ22 , 2F065JJ24 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL30 , 2F065LL35 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065LL46 , 2F065MM06 , 2F065PP04 , 2F065PP13 , 2F065PP22 , 2F065QQ03 , 2F065QQ25 , 2F065QQ26 , 2F065QQ27 , 2F065RR09 , 2F069AA54 , 2F069AA77 , 2F069BB15 , 2F069DD15 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG58 , 2F069HH09 , 2F069JJ06 , 2F069JJ17 , 2F069JJ19 , 2F069NN08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

形状測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-047264 Applicant：豊田工機株式会社, 清野慧, 高偉, 奥山栄樹
特開平1-233307
3次元形状測定機及びその測定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-140118 Applicant：キヤノン株式会社

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