半導体ウエハ用の吸着防止シート

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996061883
Publication number (International publication number)：1997232416
Application date： Feb. 23, 1996
Publication date： Sep. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】半導体ウエハ用の剥離性の良い吸着防止シートを提供する。【解決手段】半導体ウエハ10を筒型容器内11に積み重ねて収容する場合に、半導体ウエハ10に敷かれる緩衝用の導電性軽薄シート1である。シート1は外縁に複数の凸部1Aを放射状に形成している。シート1をウエハ10に敷くと、シート1とウエハ10は点接触となり、シート1とウエハ10間の空気層が介在するので、ウエハ10を持ち上げると、シート1は自重で剥離する。

Claim (excerpt)：

半導体ウエハを筒型容器内に積み重ねて収容する場合に、前記半導体ウエハに敷かれる緩衝用の導電性軽薄シートであって、前記半導体ウエハに空気層を介して接触し、前記導電性軽薄シートを介して前記積み重ねた半導体ウエハが傾いて接触しない面積をもち、前記半導体ウエハを持ち上げたとき、自重で剥離する重量をもつことを特徴とする半導体ウエハ用の吸着防止シート。

IPC (2)：

H01L 21/68 , B65G 49/07

FI (2)：

H01L 21/68 V , B65G 49/07 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

半導体ウェーハおよびその保管方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-359480 Applicant：三菱マテリアル株式会社, 三菱マテリアルシリコン株式会社
半導体ウェーハ収納容器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-239048 Applicant：アキレス株式会社
半導体ウエハの収納構造および半導体ウエハの収納・取出し方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-204261 Applicant：アキレス株式会社

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