Pat
J-GLOBAL ID：200903090991673010
グリッド偏光子の製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
内山 充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004193737
Publication number (International publication number)：2006017879
Application date： Jun. 30, 2004
Publication date： Jan. 19, 2006
Summary：
【課題】サブミクロンオーダーの格子形状を有するグリッド偏光子を、精密微細加工及び蒸着により大面積で経済的に製造することができるグリッド偏光子の製造方法を提供する。【解決手段】モース硬度9以上の材料を高エネルギー線を用いて加工し、先端に幅600nm以下の突起を形成してなる工具を作製し、該工具を使用して金型部材上に、幅50〜600nm、ピッチ50〜1,000nm、高さ50〜800nmの微細格子形状を形成し、該金型部材の微細格子形状を直接又はいったん金属版に転写したのち透明樹脂成形体に転写し、該微細格子形状が転写された透明樹脂成形体に導電性反射体を蒸着することを特徴とするグリッド偏光子の製造方法。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
(A)モース硬度9以上の材料を高エネルギー線を用いて加工し、先端に幅600nm以下の突起を形成してなる工具を作製し、(B)該工具を使用して金型部材上に、幅50〜600nm、ピッチ50〜1,000nm、高さ50〜800nmの微細格子形状を形成し、(C)該金型部材の微細格子形状を透明樹脂成形体に転写し、(D)該微細格子形状が転写された透明樹脂成形体に導電性反射体を蒸着することを特徴とするグリッド偏光子の製造方法。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (7)：
2H049BA05
, 2H049BA45
, 2H049BB42
, 2H049BB62
, 2H049BB63
, 2H049BC01
, 2H049BC08
Cited by applicant (3)
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特開平2-228608号公報(第1-2頁、第1図)
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偏光素子の製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平6-090166
Applicant：京セラ株式会社
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ワイヤーグリット型偏光子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2000-150402
Applicant：日本分光株式会社
Cited by examiner (3)
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