半導体層成長方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山本秀策
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001180904
Publication number (International publication number)：2002080298
Application date： Jun. 14, 2001
Publication date： Mar. 19, 2002
Summary：

【要約】【課題】 MBE成長技術によってガリウム窒化物膜を成長する方法を提供する。【解決手段】本発明の方法は、a)成長チャンバ(10)内に配置されるGaN基板(S)を少なくとも850°Cの基板温度まで加熱する工程と、b)分子線エピタキシーによって、少なくとも850°Cの基板温度で、窒化物半導体層を該GaN基板上に成長させる工程であって、該窒化物半導体層の成長の間、アンモニアガスが該成長チャンバ(10)に供給される工程とを包含し、工程(a)の間、該基板温度が800°Cに達する前に、該アンモニアガスの成長チャンバへの供給を開始する工程をさらに包含する。

Claim (excerpt)：

分子線エピタキシーによって窒化物半導体層を成長させる方法であって、a)成長チャンバ(10)内に配置されるGaN基板(S)を少なくとも850°Cの基板温度まで加熱する工程と、b)分子線エピタキシーによって、少なくとも850°Cの基板温度で、窒化物半導体層を該GaN基板上に成長させる工程であって、該窒化物半導体層の成長の間、アンモニアガスが該成長チャンバ(10)に供給される工程と、を包含し、工程a)の間、該基板温度が800°Cに達する前に、該アンモニアガスの成長チャンバへの供給を開始する工程をさらに包含する、方法。

IPC (3)：

C30B 29/38 , C30B 23/08 , H01L 21/203

FI (3)：

C30B 29/38 D , C30B 23/08 M , H01L 21/203 M

F-Term (16)：

4G077AA03 , 4G077BE15 , 4G077DA05 , 4G077EA02 , 4G077ED06 , 4G077EE03 , 4G077SC02 , 4G077SC08 , 5F103AA04 , 5F103BB05 , 5F103DD01 , 5F103HH03 , 5F103NN01 , 5F103NN05 , 5F103PP02 , 5F103RR05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

窒化物半導体の結晶成長方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-178606 Applicant：古河電気工業株式会社

Cited by examiner (1)

窒化物半導体の結晶成長方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-178606 Applicant：古河電気工業株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

The growth rate evolution versus substrate temperature and V/III ratio during GaN MBE using ammonia
High Quality Homoepitaxial GaN Grown by Molecular Beam Epitaxy with NH3 on Surface Cracking

Cited by examiner (2)

The growth rate evolution versus substrate temperature and V/III ratio during GaN MBE using ammonia
High Quality Homoepitaxial GaN Grown by Molecular Beam Epitaxy with NH3 on Surface Cracking

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