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J-GLOBAL ID：200903091143563996
プラズマ生成用ホローカソード
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
飯阪 泰雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996342450
Publication number (International publication number)：1998158822
Application date： Dec. 06, 1996
Publication date： Jun. 16, 1998
Summary：
【要約】【課題】 ホローカソード放電によって金属を溶融ないしは蒸発させるためのプラズマ生成用のホローカソードにおいて、使用している熱電子放出材料LaB6の円筒が放電中に亀裂や剥離、脱落を生ずることなく、長時間にわたって安定な放電が可能なホローカソードを提供すること。【解決手段】 LaB6 の顆粒を分散相48とし、焼結用としてのTa高融点金属の微粒子を分散媒49として焼結して形成される内層としてのLaB6 複合物円筒41を、Taパイプ36の下端部(先端部)の内周側をくり抜いた箇所へ挿嵌し、その下端に開口38を備えたTaキャップ39をかぶせ溶接固定してホローカソード47とする。このようなホローカソード47は放電によっても熱電子放出材料LaB6 に亀裂や剥離が発生せず、放電が長時間にわたって安定に維持される。
Claim (excerpt)：
ホローカソード放電による金属の溶融ないしは蒸発に使用するための、Ta(タンタル)、Mo(モリブデン)またはW(タングステン)の中の何れかからなる外層と、仕事関数が小さい熱電子放出材料であるLaB6 (硼化ランタン)からなる内層とによって構成される円筒状のプラズマ生成用ホローカソードであって、前記内層が前記LaB6 の顆粒を分散相とし、焼結用高融点金属の微粒子または焼結用硼化金属の微粒子を分散媒として焼結して形成されるLaB6 複合物円筒であることを特徴とするプラズマ生成用ホローカソード。
Patent cited by the Patent：
Article cited by the Patent：
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