電子線源およびX線源

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：西澤利夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003412427
Publication number (International publication number)：2005174715
Application date： Dec. 10, 2003
Publication date： Jun. 30, 2005
Summary：

【目的】ナノシリコン面電子源のように高輝度且つ長寿命であり、点電子線源のように電子を集束して放射することが可能であり、しかも安価で且つ取扱いの容易な、電子線源およびX線源を提供する。【構成】高エネルギー垂直面電子源(2)と、高エネルギー垂直面電子源(2)から放射された電子を加速させ集束させる加速集束電極(3,4)とを備えている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

高エネルギー垂直面電子源と、高エネルギー垂直面電子源から放射された電子を加速し集束する加速集束電極とを備えたことを特徴とする電子線源。

IPC (6)：

H01J37/06 , G21K1/00 , G21K1/02 , G21K1/087 , H01J35/06 , H01J35/14

FI (7)：

H01J37/06 A , H01J37/06 Z , G21K1/00 E , G21K1/02 R , G21K1/087 F , H01J35/06 B , H01J35/14

F-Term (4)：

5C030BB02 , 5C030BB03 , 5C030BB09 , 5C030BB17

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

走査電子顕微鏡及び試料撮影方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-100042 Applicant：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
電界放射型電子源
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-272342 Applicant：松下電工株式会社

Cited by examiner (8)

特開昭52-115161
電界放射型電子源およびその製造方法および平面発光装置およびディスプレイ装置および固体真空デバイス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-272340 Applicant：松下電工株式会社
特開昭60-049545

Show all

Return to Previous Page