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J-GLOBAL ID：200903091655242903

薄膜バルク音響共振器装置、及びこれを製造するための改良された方法

Inventor： リチャード・シー・ルビー ,  ポール・ブラッドリー ,  ユリー・オシュムヤンスキー ,  ドミンゴ・エー・フィグエレド
Applicant, Patent owner： アジレント・テクノロジーズ・インク
Agent (1)： 加藤 公久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002052627
Publication number (International publication number)：2002314368
Application date： Feb. 28, 2002
Publication date： Oct. 25, 2002
Summary：

【要約】【課題】製造を容易に行うことのできる薄膜バルク音響共振器の構成及びその製造のための改良された方法を提供すること。【解決手段】表面(204)を備えた基板(202)上に配置された音響共振器を製造する方法は、表面(204)に凹部(206)をエッチングする工程と、凹部(206)を犠牲材料で充填する工程と、エッチング孔(220)を備えた音響共振器を基板上に形成する工程と、その後犠牲材料を除去する工程とを含む。

Claim (excerpt)：

表面上に凹部を備えた基板と、及び、前記基板上に形成されるとともに前記凹部にまたがり、前記凹部へのアクセスを可能にするエッチング孔を備えた音響共振器とを有することを特徴とする装置。

IPC (4)：

H03H 9/17 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/02

FI (4)：

H03H 9/17 F ,  H03H 3/02 B ,  H01L 41/08 D ,  H01L 41/22 Z

F-Term (8)：

5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE13 ,  5J108KK01 ,  5J108KK07 ,  5J108MM08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 振幅変調および位相変調を行うための整調可能な薄膜バルク型音響共振器が組み込まれている装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-269024   Applicant：ノキアモービルフォーンズリミテッド
• 圧電薄膜振動子の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-349647   Applicant：沖電気工業株式会社