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J-GLOBAL ID：200903091735793463

レーザー加工品の製造方法及びレーザー加工用保護シート

Inventor：
浦入 正勝

About 浦入 正勝

, 
日野 敦司

About 日野 敦司

, 
松尾 直之

About 松尾 直之

, 
高橋 智一

About 高橋 智一


Applicant, Patent owner：
日東電工株式会社

About 日東電工株式会社


Agent (4)： 鈴木 崇生 ,  梶崎 弘一 ,  尾崎 雄三 ,  谷口 俊彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004100141
Publication number (International publication number)：2005279755
Application date： Mar. 30, 2004
Publication date： Oct. 13, 2005
Summary：
【課題】 レーザー光の紫外吸収アブレーションにより被加工物を加工する際に、分解物による被加工物表面の汚染を効果的に抑制でき、かつ加工精度を高くすることのできるレーザー加工用保護シートを用いたレーザー加工品の製造方法を提供することを目的とする。また、前記レーザー加工品の製造方法に用いられるレーザー加工用保護シートを提供することを目的とする。【解決手段】 基材上に少なくとも粘着剤層を有しており、かつ吸光係数比が1以上であるレーザー加工用保護シートを使用し、前記被加工物のレーザー光入射面側に該レーザー加工用保護シートの粘着剤層を貼付する工程、レーザー光を照射してレーザー加工用保護シート及び被加工物を加工する工程、レーザー加工用保護シートを加工後の被加工物から剥離する工程を含むレーザー加工品の製造方法。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
基材上に少なくとも粘着剤層を有しており、かつ使用する被加工物の紫外領域波長λにおける吸光係数に対する前記基材の紫外領域波長λにおける吸光係数(吸光係数比=レーザー加工用保護シートの基材の紫外領域波長λにおける吸光係数/使用する被加工物の紫外領域波長λにおける吸光係数)が1以上であるレーザー加工用保護シートを使用し、前記被加工物のレーザー光入射面側に該レーザー加工用保護シートの粘着剤層を貼付する工程、レーザー光を照射してレーザー加工用保護シート及び被加工物を加工する工程、レーザー加工用保護シートを加工後の被加工物から剥離する工程を含むレーザー加工品の製造方法。
IPC (5)：
B23K26/18 ,  B28D5/00 ,  C09J7/02 ,  C09J201/00 ,  H01L21/301
FI (6)：
B23K26/18 ,  B28D5/00 Z ,  C09J7/02 Z ,  C09J201/00 ,  H01L21/78 M ,  H01L21/78 B
F-Term (35)：
3C069AA01 ,  3C069BA08 ,  3C069CA03 ,  3C069CA05 ,  3C069CA06 ,  3C069CA11 ,  3C069EA02 ,  3C069EA05 ,  4E068AE01 ,  4E068AF01 ,  4E068CA04 ,  4E068CF04 ,  4E068DA09 ,  4E068DB01 ,  4E068DB12 ,  4E068DB13 ,  4J004AA10 ,  4J004AA17 ,  4J004AB06 ,  4J004AB07 ,  4J004CA06 ,  4J004CB03 ,  4J004CC02 ,  4J040DB021 ,  4J040DE021 ,  4J040DF041 ,  4J040DF051 ,  4J040DF061 ,  4J040DF081 ,  4J040DF091 ,  4J040DH031 ,  4J040JA09 ,  4J040JB09 ,  4J040PA23 ,  4J040PA32
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (6)
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