走査電子顕微鏡

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：小川勝男 , 田中恭助 , 佐々木孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004267842
Publication number (International publication number)：2005032732
Application date： Sep. 15, 2004
Publication date： Feb. 03, 2005
Summary：

【課題】 SEMをベースにしたSTEMによりTEMの分解能に相当しかつSEMの使い易さをもって試料の内部構造を立体的に観察することを可能とする。【解決手段】電子源1と,前記電子源1を200kev程度に加速する電源と軸調整用電子銃偏向器と、電子ビームを収束し走査して試料に照射する電子光学手段と共用試料ホルダとインレンズ構造の対物レンズと、二次荷電粒子を検出する検出器からなる走査電子顕微鏡である。走査透過像の観察において,目的とする観察部分のコントラストを検出散乱角度範囲を選択することによって向上することができ,結像パラメータを計算機が自動解析して構造解析,組成解析時に使用でき,2次電子像,反射電子像から試料の内部構造をμmオーダで立体的に観察することができる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

電子源と、前記電子源からの一次電子線を加速する加速電極と、前記加速電極で加速された前記一次電子線を走査偏向する電子銃偏向コイルとを有する電子銃部と、前記電子銃部の前記電子銃偏向コイルは、第1の偏向器と前記一次電子線の平行移動及び傾斜の調整を行う振り戻し偏向器とを備え、前記一次電子線を試料上に走査するための第2の偏向器と、前記電子銃偏向コイルと前記第2の偏向器とに走査信号を供給する手段と、前記試料を保持する試料ホルダと、前記試料ホルダを挟んで配置された対物レンズと、前記対物レンズを透過した散乱電子を検出する検出器と、前記対物レンズから発生した二次電子を検出する二次電子検出器と、前記二次電子検出器の出力信号を表示する画面とを有し、前記二次電子検出器の出力信号を前記電子銃偏向コイルへの走査信号と同期して前記画面に表示することにより、前記対物レンズの光軸中心に対して前記一次電子線の位置と傾斜を各々独立に調整して位置合わせを行うよう構成したことを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (4)：

H01J37/28 , G01N23/225 , H01J37/04 , H01J37/244

FI (4)：

H01J37/28 C , G01N23/225 , H01J37/04 B , H01J37/244

F-Term (24)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001BA14 , 2G001CA03 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001JA02 , 2G001JA03 , 2G001KA01 , 2G001KA12 , 5C030AA07 , 5C030AB01 , 5C030AB02 , 5C033EE04 , 5C033NN01 , 5C033NN02 , 5C033NN07 , 5C033NP01 , 5C033NP05 , 5C033SS01 , 5C033SS03 , 5C033SS07 , 5C033UU01 , 5C033UU04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

特開昭52-16160号公報
特開昭57-36763号公報

Cited by examiner (6)

走査電子顕微鏡における自動軸調整装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-020117 Applicant：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
特開昭61-294745
透過形走査電子線装置及び試料密度測定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-102153 Applicant：株式会社日立製作所, 財団法人電力中央研究所

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