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J-GLOBAL ID:200903092110166041
光検出器およびその製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
山口 巖
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2000560600
Publication number (International publication number):2002520798
Application date: Jun. 25, 1999
Publication date: Jul. 09, 2002
Summary:
【要約】光センサは、放射線および/又は粒子を感知する陰極部(111)、電子を受取る陽極部(114)および陰極部を、その一方の端部に気密的に取付け、かつ陽極部を、その他方の端部に気密的に取付けている真空チャネルであって、導電層又は半導電層(107)により、内面が少なくとも一部覆われた、管状部材(106)から成る真空チャネル(112、113、200)から成っている。チャネル電子増倍器を製造する方法は、その内面の少なくとも一部に、管状部材と、導電層又は半導電層とを形成する工程、陽極部を形成し、陽極部を管状部材に封止する工程、管状部材を真空にする工程、放射線および/又は粒子を感知する陰極部を形成する工程、陰極部を真空の管状部材に封止する工程を含む。この光検出器は、少なくとも部分的にモールド材で封止される。
Claim (excerpt):
電磁放射線および/又は粒子が入射すると電子を放出する陰極部(111)と、 電子を受取る陽極部(114)と、 一方の端部に陰極部が気密的に取付けられ、他方の端部が陽極部により気密的に封止された真空チャネル(106、106a、108、112、113、200)と、 陽極部に向かう方向に真空チャネルの断面積を縮小する第1の縮小部とを有し、管状部材(106)から成る真空チャネルにおいて、その内面を少なくとも部分的に覆う、一次電子が入射すると二次電子を放出する導電層又は半導電層(107)と、を備えることを特徴とする電磁放射線又は粒子用の検出器。
IPC (3):
H01J 43/28
, H01J 43/04
, H01J 43/24
FI (3):
H01J 43/28
, H01J 43/04
, H01J 43/24
F-Term (3):
5C038BB01
, 5C038BB02
, 5C038BB04
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (14)
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特表平5-509192
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特表平5-509192
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特開平1-239749
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特開平1-292737
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特開昭64-084560
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特開平4-359855
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特表平5-509192
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マイクロチャネルプレート及び光電子増倍管
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-050924
Applicant:浜松ホトニクス株式会社
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特開平1-239749
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光電子分光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-310603
Applicant:株式会社ニコン
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二次電子増倍装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-071973
Applicant:株式会社村田製作所
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特開昭52-026150
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特開昭53-130965
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非結晶炭素材料と、金属材料またはセラミックス材料との接合方法、および電子管デバイス
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-006582
Applicant:浜松ホトニクス株式会社
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