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J-GLOBAL ID：200903092206564684

イオン源

Inventor： 妹尾 和洋
Applicant, Patent owner： 日新電機株式会社
Agent (1)： 山本 惠二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999137321
Publication number (International publication number)：2000331620
Application date： May. 18, 1999
Publication date： Nov. 30, 2000
Summary：

【要約】【課題】 イオン源の汚れに対する強度を高めて、その安定稼動時間を長くする。【解決手段】 このイオン源は、フィラメント8の二つの脚部8aとプラズマ生成容器2との間を電気絶縁する二つの絶縁体24を備えている。各絶縁体24は、プラズマ生成容器2の壁面を挟んで内外から互いに嵌め合わされた内側絶縁体24aおよび外側絶縁体24bから成る。かつこの各内側絶縁体24aを、互いに入り込んでいて迷路を形成する二つの筒状絶縁体241aおよび242aで構成している。

Claim (excerpt)：

陽極を兼ねていてガスが導入されるプラズマ生成容器と、このプラズマ生成容器の一方側内にその壁面を貫通して設けられたフィラメントと、このフィラメントの二つの脚部がプラズマ生成容器の壁面を貫通する部分に設けられていて各脚部とプラズマ生成容器との間を電気絶縁する二つの絶縁体とを備えるイオン源において、前記各絶縁体が、前記プラズマ生成容器の壁面を挟んで内外から互いに嵌め合わされた内側絶縁体および外側絶縁体から成り、かつこの各内側絶縁体を、互いに入り込んでいて迷路を形成する二つの筒状絶縁体で構成していることを特徴とするイオン源。

IPC (2)：

H01J 27/08 ,  H01J 37/08

FI (2)：

H01J 27/08 ,  H01J 37/08

F-Term (3)：

5C030DD04 ,  5C030DD05 ,  5C030DE02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• イオン源
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-064352   Applicant：日新電機株式会社
• イオン源
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-095110   Applicant：日新電機株式会社