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J-GLOBAL ID：200903092368509105

防食用チタン酸化膜の作製方法および防食用チタン酸化膜

Inventor： 久保田 伸彦 ,  綾部 統夫
Applicant, Patent owner： 石川島播磨重工業株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996284416
Publication number (International publication number)：1998130805
Application date： Oct. 25, 1996
Publication date： May. 19, 1998
Summary：

【要約】【課題】 半導体の機能低下を起こすことなくTiO2 粒体を被防食材の表面に付着させ防食効果を高める。【解決手段】 TiO2 粒体をプラズマ流に乗せて被防食材の表面に溶射することにより、チタン酸化膜を作製する際に、プラズマガスとしてArガスを選択し、2次ガスとしてHeガスおよびH2 ガスを使用する。

Claim (excerpt)：

TiO2 粒体をプラズマ流に乗せて被防食材(X)の表面に溶射することによりチタン酸化膜(Y)を作製する方法であって、プラズマガスとしてArガスを選択し、2次ガスとしてHeガスおよび微量のH2 ガスを使用することを特徴とする防食用チタン酸化膜の作製方法。

IPC (4)：

C23C 4/10 ,  C23C 4/12 ,  C23F 15/00 ,  G21D 1/00

FI (4)：

C23C 4/10 ,  C23C 4/12 ,  C23F 15/00 ,  G21D 1/00 W

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 原子炉構造材及びその防食方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-012056   Applicant：石川島播磨重工業株式会社
• 光触媒用酸化チタン板材の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-008009   Applicant：前田工繊株式会社
• 力学量センサおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-176821   Applicant：松下電器産業株式会社
• 特開平2-051897
  
• 特開平3-087346
  
• 原子炉構造材及びその防食方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-059577   Applicant：石川島播磨重工業株式会社