Pat
J-GLOBAL ID:200903092368509105

防食用チタン酸化膜の作製方法および防食用チタン酸化膜

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996284416
Publication number (International publication number):1998130805
Application date: Oct. 25, 1996
Publication date: May. 19, 1998
Summary:
【要約】【課題】 半導体の機能低下を起こすことなくTiO2 粒体を被防食材の表面に付着させ防食効果を高める。【解決手段】 TiO2 粒体をプラズマ流に乗せて被防食材の表面に溶射することにより、チタン酸化膜を作製する際に、プラズマガスとしてArガスを選択し、2次ガスとしてHeガスおよびH2 ガスを使用する。
Claim (excerpt):
TiO2 粒体をプラズマ流に乗せて被防食材(X)の表面に溶射することによりチタン酸化膜(Y)を作製する方法であって、プラズマガスとしてArガスを選択し、2次ガスとしてHeガスおよび微量のH2 ガスを使用することを特徴とする防食用チタン酸化膜の作製方法。
IPC (4):
C23C 4/10 ,  C23C 4/12 ,  C23F 15/00 ,  G21D 1/00
FI (4):
C23C 4/10 ,  C23C 4/12 ,  C23F 15/00 ,  G21D 1/00 W
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
Show all
Cited by examiner (6)
Show all

Return to Previous Page