感光性樹脂組成物層、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法、プリント配線板の製造法及びリードフレームの製造法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：若林邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999287293
Publication number (International publication number)：2000275861
Application date： Oct. 07, 1999
Publication date： Oct. 06, 2000
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】解像度、密着性及び作業性が特に優れる感光性樹脂組成物層、感光性エレメント、レジストパターンの製造法およびこのレジストパターンを有するプリント配線板又はリードフレームの製造法の提供。【解決手段】第一の感光性樹脂組成物層及び第二の感光性樹脂組成物層が、バインダーポリマー、分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有するモノマー及び光重合開始剤を含有してなる組成物であり、かつ、第二の感光性樹脂組成物層の厚みが1〜5μmで、かつ365nmにおける吸光度が0.4〜1.5である感光性樹脂組成物層、支持体上に第一と第二の感光性樹脂組成物層を順次積層してなる感光性エレメント、これを、回路形成用基板上に積層し、活性光線を照射し、露光部を光硬化させ、未露光部を現像で除去するレジストパターンの製造法並びに回路形成用基板をエッチング若しくはめっきすることを特徴とするプリント配線板又はリードフレームの製造法。

Claim (excerpt)：

第一の感光性樹脂組成物層及び第二の感光性樹脂組成物層を有してなり、第一の感光性樹脂組成物層及び第二の感光性樹脂組成物層が、(A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有するモノマー及び(C)光重合開始剤を含有してなる組成物であり、かつ、第二の感光性樹脂組成物層の厚みが1〜5μmであり、かつ365nmにおける吸光度が0.4〜1.5である感光性樹脂組成物層。

IPC (9)：

G03F 7/095 , G03F 7/027 502 , G03F 7/028 , G03F 7/032 , G03F 7/26 511 , G03F 7/30 , G03F 7/40 521 , H01L 23/50 , H05K 3/28

FI (10)：

G03F 7/095 , G03F 7/027 502 , G03F 7/028 , G03F 7/032 , G03F 7/26 511 , G03F 7/30 , G03F 7/40 521 , H01L 23/50 D , H01L 23/50 A , H05K 3/28 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

画像処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-082906 Applicant：コニカ株式会社
印刷回路用水性処理可能な多層光像形成性永久コーティング
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-302801 Applicant：イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
画像形成材料及びそれを用いる画像形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-239484 Applicant：富士写真フイルム株式会社

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