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J-GLOBAL ID:200903092448185947
オゾン水製造装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
三枝 英二 (外8名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000368752
Publication number (International publication number):2002166147
Application date: Dec. 04, 2000
Publication date: Jun. 11, 2002
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】複雑乃至大型の装置を必要とすることなく、高濃度のオゾン水を低コストで製造することができる装置を提供する。【解決手段】超純水とオゾンガスとを接触させてオゾン水を製造するための装置であって、超純水を循環経路5に供給するための超純水給水経路3と、超純水を循環経路内で加圧流動させるための加圧装置7と、加圧超純水の圧力を利用してオゾンガスを超純水中に導入するためのエゼクタ11と、超純水とオゾンガスとからなる混合体から気泡を分離するための液体サイクロン方式の気泡分離装置13と、分離された気泡の排出経路21と、オゾン水の取り出し経路25とを備えたことを特徴とするオゾン水製造装置。
Claim (excerpt):
超純水とオゾン含有ガスとを接触させてオゾン水を製造するための装置であって、超純水を循環経路に供給するための超純水給水経路と、超純水を循環経路内で加圧流動させるための加圧装置と、加圧超純水の圧力を利用してオゾン含有ガスを超純水中に導入するためのエゼクタと、超純水とオゾン含有ガスとからなる混合体から気泡を分離するための液体サイクロンを備えた気泡分離容器と、分離された気泡の排出経路と、オゾン水の取り出し経路とを備えたことを特徴とするオゾン水製造装置。
IPC (6):
B01F 1/00
, B01D 19/00 102
, B01D 35/02
, B01F 3/04
, C02F 1/78
, F04B 43/08
FI (6):
B01F 1/00 A
, B01D 19/00 102
, B01F 3/04 F
, C02F 1/78
, F04B 43/08 A
, B01D 35/02 M
F-Term (22):
3H077AA02
, 3H077BB10
, 3H077CC03
, 3H077EE37
, 4D011AA05
, 4D011AC01
, 4D011AC05
, 4D011AC06
, 4D011AD03
, 4D050AA01
, 4D050BB02
, 4D050BD03
, 4D050BD04
, 4D050BD06
, 4D050CA03
, 4D050CA15
, 4D064AA03
, 4D064BB08
, 4G035AA02
, 4G035AE13
, 4G035AE15
, 4G035AE17
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
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オゾン水生成装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-195594
Applicant:トキコ株式会社
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オゾン水製造設備およびオゾン処理設備
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-377283
Applicant:日鉄化工機株式会社
-
ベローズポンプのベローズ破損検出機構およびそれを用いた基板処理装置ならびにベローズポンプのベローズ破損検出方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-353589
Applicant:大日本スクリーン製造株式会社
-
半導体ウエハのオゾン水洗浄システム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-226058
Applicant:沖電気工業株式会社
-
洗浄方法および装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-078556
Applicant:株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
-
洗浄方法および洗浄装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-021226
Applicant:株式会社フロンテック, 株式会社プレテック
-
養殖水処理システム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-128988
Applicant:矢久保茂生, 木村太
-
オゾン水の製造方法、及びその装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-209722
Applicant:株式会社環境保全システム
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