光照射装置及び光照射ユニット

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：赤澤一博 , 井上敬子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002207395
Publication number (International publication number)：2004077123
Application date： Jul. 16, 2002
Publication date： Mar. 11, 2004
Summary：

【課題】光ファイバを介在させて光照射装置と光源装置とを分離した照明システムの特徴を活かしつつ、集光面積や集光効率の点で近時のワーク検査の要求に十分対応できるものを提供する。【解決手段】光照射装置6A側においては、筐体の構造を。各光ファイバの光射出端それぞれにレンズを一つ一つ近接又は密接させて保持するようにし、光源装置側においては、LEDから照射される照射光を略平行な光にする光源用第1レンズと、前記光源用第1レンズからの光を集光し前記光ファイバ束の光射出端に導入する光源用第2レンズとを共通のケーシングに設けるようにした。【選択図】図6

Claim (excerpt)：

複数の光ファイバからなる光ファイバ束を介して導入された光を照射対象部位に照射するものであって、筐体に、前記各光ファイバの光射出端部を離散配置した状態で保持するファイバ保持部と、前記各光ファイバの光射出端それぞれにレンズを一つ一つ近接又は密接させて保持するレンズ保持部とを具備させていることを特徴とする光照射装置。

IPC (4)：

G01N21/84 , G02B6/32 , G02B6/42 , H01L33/00

FI (4)：

G01N21/84 E , G02B6/32 , G02B6/42 , H01L33/00 M

F-Term (35)：

2G051AA65 , 2G051BA08 , 2G051BA20 , 2G051BB09 , 2G051BB17 , 2G051BC03 , 2G051BC04 , 2G051BC10 , 2G051CA03 , 2G051DA06 , 2H037AA03 , 2H037BA03 , 2H037BA05 , 2H037CA13 , 2H037CA21 , 2H037CA40 , 2H037DA04 , 2H037DA05 , 2H037DA06 , 2H037DA11 , 2H037DA38 , 5F041AA06 , 5F041BB03 , 5F041BB13 , 5F041BB33 , 5F041CA12 , 5F041DA12 , 5F041DA14 , 5F041DA19 , 5F041DA20 , 5F041DB09 , 5F041EE04 , 5F041EE06 , 5F041EE16 , 5F041FF11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

表面検査装置における照明装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-045028 Applicant：株式会社モリテックス
パターン検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-096569 Applicant：日本アビオニクス株式会社
特開昭63-048445

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