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J-GLOBAL ID:200903092547403360
光スキャナ及びこれを用いた断層画像取得装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000147988
Publication number (International publication number):2001330557
Application date: May. 19, 2000
Publication date: Nov. 30, 2001
Summary:
【要約】【課題】 走査方向の直角方向にも分解能を有する光スキャナ及びこれを用いた断層画像撮影装置を実現する。【解決手段】 繰返しパターンを有する光源像を試料に投影してこの光源像を移動させて走査画像を得る光スキャナにおいて、対物レンズの中間像面に配置され走査方向及びこの走査方向の直角方向に繰返しパターンを形成する走査板を設ける。
Claim (excerpt):
繰返しパターンを有する光源像を試料に投影してこの光源像を移動させて走査画像を得る光スキャナにおいて、対物レンズの中間像面に配置され走査方向及びこの走査方向の直角方向に前記繰返しパターンを形成する走査板を備えたことを特徴とする光スキャナ。
IPC (7):
G01N 21/17 620
, A61B 10/00
, G01B 11/24
, G01B 11/25
, G02B 21/00
, G02B 21/36
, G01N 21/64
FI (7):
G01N 21/17 620
, A61B 10/00 E
, G02B 21/00
, G02B 21/36
, G01N 21/64 Z
, G01B 11/24 A
, G01B 11/24 E
F-Term (50):
2F065AA04
, 2F065AA52
, 2F065BB05
, 2F065DD03
, 2F065FF01
, 2F065FF07
, 2F065HH07
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL10
, 2F065LL57
, 2F065LL65
, 2F065MM16
, 2F065SS13
, 2F065UU08
, 2G043AA06
, 2G043EA01
, 2G043FA01
, 2G043FA02
, 2G043GA02
, 2G043GA06
, 2G043GB19
, 2G043HA01
, 2G043HA09
, 2G043HA15
, 2G043LA03
, 2G043NA01
, 2G059AA10
, 2G059EE02
, 2G059EE07
, 2G059FF02
, 2G059FF03
, 2G059JJ11
, 2G059JJ22
, 2G059JJ30
, 2G059KK04
, 2G059MM01
, 2G059PP04
, 2H052AA07
, 2H052AA08
, 2H052AA09
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AC27
, 2H052AC29
, 2H052AF21
, 2H052AF25
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
-
物体表面形状の評価方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-024249
Applicant:宇部興産株式会社
-
2次元配列型共焦点光学装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-144559
Applicant:株式会社高岳製作所
-
共焦点光スキャナ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-209513
Applicant:横河電機株式会社
-
光スキャナ及びこれを用いた断層画像取得装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-147989
Applicant:横河電機株式会社
-
特許第2692416号
-
特許第2663766号
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Article cited by the Patent:
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