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J-GLOBAL ID：200903092673228167

スロットアレイアンテナおよびプラズマ処理装置

Inventor： 石井 信雄 ,  安藤 真 ,  高橋 応明
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社 ,  安藤 真 ,  高橋 応明
Agent (5)： 石田 敬 ,  鶴田 準一 ,  吉井 一男 ,  西山 雅也 ,  樋口 外治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002314623
Publication number (International publication number)：2004152876
Application date： Oct. 29, 2002
Publication date： May. 27, 2004
Summary：

【課題】プラズマ処理室内のプラズマ密度を高くすることが容易なアンテナ、およびプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】マイクロ波を給電するための給電用導波管と、該給電用導波管の長手方向に沿って配置された複数の窓からマイクロ波をアンテナの外部へ案内するように、該複数の窓に接続された複数の矩形放射用導波管とを含むスロットアレイアンテナ。個々の放射用導波管において、複数のスロットまたはスロット対の重心点の間の間隔dを、前記マイクロ波の波長λmとほぼ同一とする。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

マイクロ波を給電するための給電用導波管と;該給電用導波管の長手方向に沿って配置された複数の窓からマイクロ波をアンテナの外部へ案内するように、該複数の窓に接続された複数の矩形放射用導波管とを含み、 個々の放射用導波管が、該放射用導波管の長手方向に沿って配置された複数のスロットを有し、且つ複数のスロットまたはスロット対の重心点の間の間隔dが、前記マイクロ波の矩形放射用導波管内での波長λmとほぼ同一であることを特徴とするスロットアレイアンテナ。

IPC (6)：

H01L21/205 ,  B01J19/08 ,  C23C16/511 ,  H01L21/3065 ,  H01Q13/22 ,  H05H1/46

FI (6)：

H01L21/205 ,  B01J19/08 H ,  C23C16/511 ,  H01Q13/22 ,  H05H1/46 B ,  H01L21/302 101D

F-Term (29)：

4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BC02 ,  4G075BC04 ,  4G075BC06 ,  4G075CA26 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EC06 ,  4G075EC30 ,  4G075FA01 ,  4G075FC15 ,  4K030FA01 ,  4K030JA03 ,  4K030KA30 ,  5F004BA16 ,  5F004BB14 ,  5F004BC08 ,  5F045AA08 ,  5F045EB02 ,  5F045EH02 ,  5F045EH03 ,  5J045DA04 ,  5J045DA11 ,  5J045EA07 ,  5J045FA04 ,  5J045HA01 ,  5J045NA00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• プラズマ処理装置及び方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-010781   Applicant：東京エレクトロン株式会社, 八坂保能
• 漏れ波導波管スロットアレーアンテナ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-276152   Applicant：新日本製鐵株式会社, 後藤尚久
• 特開昭53-149752
  
• 漏洩導波管
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-088696   Applicant：日立電線株式会社