クリーンルームにおける気体清浄方法及びその装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：吉嶺桂 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998027841
Publication number (International publication number)：1998296042
Application date： Jan. 27, 1998
Publication date： Nov. 10, 1998
Summary：

【要約】【課題】微粒子と共に、ガス状有害成分も同時に除去したクリーンルームにおける超清浄空間を創出することができる気体清浄方法と装置を提供する。【解決手段】クリーンルーム5又は該クリーンルーム内の局所空間の気体を清浄による装置において、気体中の微粒子及びガス状の有害成分を除去するための、除塵フィルタ4と、吸着材を充填した吸着装置9と、光触媒10と該触媒に光を照射する光源11よりなる光触媒装置Dとを備えることとしたものであり、前記吸着材が、活性炭及び/又はイオン交換繊維であり、光触媒がTiO2 で、光を照射する光源が254nmの紫外線を発生する殺菌灯であるのがよい。

Claim (excerpt)：

クリーンルーム又は該クリーンルーム内の局所空間の気体を清浄にする方法において、該気体を除塵フィルターによる処理と、吸着材による処理と、光触媒による処理とにより処理して、気体中の微粒子及びガス状の有害成分を除去することを特徴とするクリーンルームにおける気体清浄方法。

IPC (12)：

B01D 53/34 , B01D 46/10 , B01D 53/00 , B01D 53/04 , B01D 53/86 , B01J 20/20 , B01J 20/24 , B01J 20/26 , B01J 21/06 , B01J 35/02 , B01J 47/12 , F24F 7/06

FI (12)：

B01D 53/34 Z , B01D 46/10 Z , B01D 53/00 , B01D 53/04 C , B01J 20/20 B , B01J 20/24 A , B01J 20/26 A , B01J 21/06 A , B01J 35/02 J , B01J 47/12 E , F24F 7/06 C , B01D 53/36 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平4-113141
基材又は基板表面の汚染防止方法と装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-222775 Applicant：株式会社荏原総合研究所, 株式会社荏原製作所
特開平2-284629

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