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J-GLOBAL ID：200903093027106998

窒化珪素質放熱部材及びその製造方法

Inventor：
岩井田 智広

About 岩井田 智広

, 
牧野 晃久

About 牧野 晃久

, 
石田 政信

About 石田 政信


Applicant, Patent owner：
京セラ株式会社

About 京セラ株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998215842
Publication number (International publication number)：2000044351
Application date： Jul. 30, 1998
Publication date： Feb. 15, 2000
Summary：
【要約】【課題】1800°C以下の低温で焼成可能であって、且つ高熱伝導性および高強度を有する窒化珪素質放熱部材とその製造方法を提供する。【解決手段】窒化珪素(Si3 N4 )を主成分とし、希土類元素およびMgを酸化物換算による合量で4〜30モル%、希土類金属(RE)とMgを酸化物換算のモル比(RE2 O3 /MgO)が0.1〜15となる比率で含有するとともに、Alの酸化物換算量が1モル%以下の相対密度が48〜56%の成形体を、1500〜1800°Cの非酸化性雰囲気中で焼成して、相対密度90%以上に緻密化して、焼結体の切断面における窒化珪素結晶の平均長軸径が0.5〜3μmの熱伝導率50W/m・K、強度600MPa以上の窒化珪素質放熱部材を得ることができる。
Claim (excerpt)：
窒化珪素(Si3 N4 )を主成分とし、希土類元素およびMgを酸化物換算による合量で4〜30モル%、希土類金属(RE)とMgを酸化物換算のモル比(RE2 O3 /MgO)が0.1〜15となる比率で含有するとともに、Alの酸化物換算量が1モル%以下、相対密度が90%以上であり、且つ切断面における窒化珪素結晶の平均長軸径が0.5〜3μmの焼結体からなることを特徴とする窒化珪素質放熱部材。
IPC (4)：
C04B 35/584 ,  H01L 23/08 ,  H01L 23/373 ,  H05K 1/03 610
FI (4)：
C04B 35/58 102 D ,  H01L 23/08 D ,  H05K 1/03 610 D ,  H01L 23/36 M
F-Term (21)：
4G001BA03 ,  4G001BA06 ,  4G001BA08 ,  4G001BA32 ,  4G001BA73 ,  4G001BB03 ,  4G001BB06 ,  4G001BB08 ,  4G001BB32 ,  4G001BC17 ,  4G001BC31 ,  4G001BC52 ,  4G001BC53 ,  4G001BD03 ,  4G001BD13 ,  4G001BD14 ,  4G001BE22 ,  4G001BE33 ,  5F036AA01 ,  5F036BB08 ,  5F036BD14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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