赤外光集光装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：平山一幸 , 海津保三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002188508
Publication number (International publication number)：2004028900
Application date： Jun. 27, 2002
Publication date： Jan. 29, 2004
Summary：

【課題】サブミクロン以下の微細な領域に数十ミクロン以上の波長を持つ赤外光を高い効率で集中でき、サブミクロン以下の微細な領域の近接場を高い効率で取り出せ、かつ、走査像を得ることができる赤外光集光装置を提供する。【解決手段】入射光8または出射光9を高効率でアンテナに結合させる高屈折率媒質からなるソリッドイマージョンレンズ2と、ソリッドイマージョンレンズ2の底面3上に配設した、入射光8または出射光9を幾何学的に共鳴させるアンテナ4と、アンテナ4から突出した先鋭な突端を有する棒状導電体であるプローブ4bと、カンチレバー5を介してプローブ4bの位置を制御する位置制御手段とを有する。入射光8または出射光9のアンテナ4との結合を高誘電率媒質側で行うようにし、幾何学的に共鳴の生ずるアンテナを使用して効率を高めた。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

入射光を入力する、または、出射光を出力するソリッドイマージョンレンズと、このソリッドイマージョンレンズの底面から有効波長の1/4以下の距離を離して配設したプローブを有するアンテナと、このアンテナを保持する保持具と、上記プローブの先端の位置を上記保持具を介して制御する位置制御手段とを有し、上記位置制御手段を操作して、上記ソリッドイマージョンレンズの底面に配置した試料の所望の位置に、入射光を近接場として集中する、または、上記試料の所望の位置からの近接場を伝搬波に変換して上記ソリッドイマージョンレンズから上記出射光として出力することを特徴とする、赤外光集光装置。

IPC (1)：

G01N13/14

FI (1)：

G01N13/14 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

パターン検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-000139 Applicant：株式会社東芝
光ヘッド、光磁気ヘッド、ディスク装置、および光ヘッドの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-376777 Applicant：富士ゼロックス株式会社
アンテナ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-222393 Applicant：日立電線株式会社

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