マイクロポジショニング装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：浅村皓 , 浅村肇 , 山本貴和 , 岩本行夫
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2002548496
Publication number (International publication number)：2004515769
Application date： Dec. 03, 2001
Publication date： May. 27, 2004
Summary：

本発明はたとえば顕微鏡に使用するための、物体4のマイクロポジショニング用装置に関する。装置は加速ユニット1および、この加速ユニット1を物体4に接続する中間部分3よりなる。加速ユニット1に対する物体の位置は、物体4の機械的慣性のために、可変である。さらに、中間部分3は、加速ユニット1端部に取付けられる第1端部3′、および実質的に周囲の接触面3aが設けられた第2端部3′′を有し、物体4にはクランプ要素4′が設けられる。これらのクランプ要素4′は、物体4を中間部分3に対し単にクランプ要素4′によって接触面3aに加えられるクランプ力および摩擦力によって保持するため、中間部分3の周囲にクランプするのに適している。

Claim (excerpt)：

たとえば顕微鏡に使用するための、物体(4)のマイクロポジショニング用装置であって、前記装置が加速ユニット(1)および前記加速ユニット(1)を前記物体(4)に連結する中間部分(3)を有し、加速ユニット(1)に対するその位置が前記加速ユニット(1)の高加速度または減速度において、物体(4)の機械的慣性のために可変である物体のマイクロポジショニング用装置において、前記中間部分(3)が前記加速ユニット(1)に取付けられる第1端部(3′)、および実質的に周囲の接触面(3a)を設けられた、第2端部(3′′)を有すること、および前記物体(4)がクランプ要素(4′)を設けられ、それにより前記クランプ要素(4′)が、物体(4)を単に前記接触面(3a)に前記クランプ要素(4′)によって加えられるクランプ力および摩擦力によって中間部分(3)に対して保持するため、前記中間部分(3)の前記接触面(3a)の周りにクランプするのに適していることを特徴とする物体のマイクロポジショニング用装置。

IPC (3)：

G01N13/10 , G01B21/00 , G12B21/20

FI (3)：

G01N13/10 C , G01B21/00 L , G12B1/00 601G

F-Term (7)：

2F069GG04 , 2F069GG08 , 2F069HH30 , 2F069JJ15 , 2F069MM02 , 2F069MM23 , 2F069MM34

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

特開平1-217982
圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-301675 Applicant：財団法人神奈川科学技術アカデミー
特開平2-066841

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