レーザ・放電複合加工方法および装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：波多野久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998004291
Publication number (International publication number)：1999197947
Application date： Jan. 12, 1998
Publication date： Jul. 27, 1999
Summary：

【要約】【課題】高い精度と、なめらかな仕上げ面をもった加工を、高い効率で容易に行えるをレーザ・放電複合加工方法および装置を提供する。【解決手段】先端にレーザビーム通過孔10をあけた陽極(陽電極)11と、陽極に対向させて加工対象となるターゲット12を設置する陰極と、これら陽、陰極間に設けられたコンデンサ13およびインダクタンスと、コンデンサを充電するDC高電圧電源15と、陽極のレーザビーム通過孔を介してターゲットの表面にパルスレーザを入射するレーザ装置18と、ターゲットと陽極との間にバッファガスを供給するガス供給系とを備える。

Claim (excerpt)：

陰極側に加工対象となるターゲットを置き、このターゲットから一定距離離間させた陽極に一定値以上の正の電圧を印加し、この状態で前記ターゲットの表面にパルスレーザを入射することによって原子を放出させると同時にレーザプラズマを生じさせ、このレーザプラズマ中に存在する電子をトリガとして前記陽,陰極間で放電を起させ、その放電エネルギを前記ターゲットの表面のレーザプラズマに集束させて加工ポイントに誘導し、そのエネルギによって前記ターゲットを加工することを特徴とするレーザ・放電複合加工方法。

IPC (4)：

B23H 5/00 , B23K 26/00 , B23K 26/02 , B23K 26/08

FI (5)：

B23H 5/00 Z , B23K 26/00 P , B23K 26/00 G , B23K 26/02 C , B23K 26/08 K

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

放電加工方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-105400 Applicant：工業技術院長
レーザ放電誘導式放電加工装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-213339 Applicant：工業技術院長
レーザ放電誘導式放電加工の確認装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-286877 Applicant：工業技術院長

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