ダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石井陽一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998375446
Publication number (International publication number)：2000177046
Application date： Dec. 15, 1998
Publication date： Jun. 27, 2000
Summary：

【要約】【課題】金型、工具等のダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材において、高温条件下の使用にても、母材とダイヤモンド状炭素膜との密着性を向上させ、その寿命を向上させる。【解決手段】母材とダイヤモンド状炭素膜との間に、周期表第5A族金属、第6A族金属、Ti、Zrを主成分とする金属膜(母材側)とSiおよびCを含有する炭化けい素系膜(ダイヤモンド状炭素膜側)の積層膜を中間層として介在させたダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材とする。

Claim (excerpt)：

母材上にダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材であって、母材上に周期表第5A族(5族)金属、第6A族(6族)金属、TiおよびZrから選ばれる少なくとも1種を主成分とする金属膜を有し、この金属膜上にけい素および炭素を含有する炭化けい素系膜を有し、この炭化けい素系膜上にダイヤモンド状炭素膜を有するダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材。

IPC (4)：

B32B 15/04 , B22C 3/00 , C23C 14/06 , C23C 16/27

FI (6)：

B32B 15/04 Z , B22C 3/00 E , C23C 14/06 N , C23C 14/06 B , C23C 14/06 F , C23C 16/26 A

F-Term (51)：

4E092AA01 , 4E092AA05 , 4E092AA09 , 4E092GA10 , 4F100AA16C , 4F100AA37D , 4F100AB01B , 4F100AB11 , 4F100AB12B , 4F100AB13B , 4F100AB19B , 4F100AB20B , 4F100AT00A , 4F100BA04 , 4F100BA07 , 4F100EH66 , 4F100GB51 , 4F100GB90 , 4F100JJ03 , 4F100JK09 , 4F100JK10 , 4F100JM02B , 4F100JM02C , 4F100JM02D , 4F100YY00C , 4K029AA02 , 4K029BA02 , 4K029BA07 , 4K029BA11 , 4K029BA16 , 4K029BA17 , 4K029BA34 , 4K029BA56 , 4K029BB02 , 4K029BC00 , 4K029BC02 , 4K029BD05 , 4K030BA06 , 4K030BA12 , 4K030BA13 , 4K030BA17 , 4K030BA18 , 4K030BA19 , 4K030BA20 , 4K030BA22 , 4K030BA28 , 4K030BA37 , 4K030BB12 , 4K030CA02 , 4K030LA01 , 4K030LA21

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

円筒状部材の内周面への被膜形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-274878 Applicant：シチズン時計株式会社
特開平1-317197
特開平1-317197

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