エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997232238
Publication number (International publication number)：1999061090
Application date： Aug. 28, 1997
Publication date： Mar. 05, 1999
Summary：

【要約】【課題】粘着シート剥離後に粘着剤がウエハ表面に残存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留粘着剤を除去することができるような、ウエハ表面保護シートに好適な粘着剤組成物を提供すること。【解決手段】本発明に係るエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物は、(A)親水性粘着剤と、(B)エネルギー線重合性化合物と、必要に応じ光重合開始剤(C)とからなることを特徴としている。

Claim (excerpt)：

(A)親水性粘着剤と、(B)エネルギー線重合性化合物とからなることを特徴とするエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物。

IPC (10)：

C09J201/08 , C09J 4/06 , C09J 7/02 , C09J133/02 , C09J133/14 , C09J155/00 , C09J175/16 , H01L 21/301 , C08F290/06 , C08F299/06

FI (10)：

C09J201/08 , C09J 4/06 , C09J 7/02 Z , C09J133/02 , C09J133/14 , C09J155/00 , C09J175/16 , C08F290/06 , C08F299/06 , H01L 21/78 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特開昭64-064772
特開昭63-153814
ウエハ表面保護シートおよびその利用方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-338626 Applicant：リンテック株式会社

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