凹型酸化膜構造体

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (5)：志賀正武 , 高橋詔男 , 渡邊隆 , 青山正和 , 村山靖彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004154766
Publication number (International publication number)：2005339884
Application date： May. 25, 2004
Publication date： Dec. 08, 2005
Summary：

【課題】多孔質金属酸化膜の構造を、例えば規則的な立体形状に制御することができ、均一な形状を有する凹型酸化膜構造体を得ることができるようにする。【解決手段】ガラス板などの基板1上に、酸化チタンなどの金属酸化物からなる多孔膜2が形成され、この多孔質膜2には多数の柱状凹部3、3・・・が多数突設された凹型酸化膜構造体。この凹型酸化膜構造体は、アルミニウムなどを陽極酸化処理して得られた陽極酸化被膜の微細孔中に硬化性樹脂液を充填し硬化させて樹脂型を作り、この樹脂型を基板上に形成された酸化チタンなどの微粒子からなるゾル層に突き刺し、これを加熱焼成する方法などで製造される。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基板上に、金属酸化物からなる多孔質膜が設けられ、この多孔質膜には、多数の柱状凹部が形成されていることを特徴とする凹型酸化膜構造体。

IPC (2)：

H01M14/00 , H01L31/04

FI (2)：

H01M14/00 P , H01L31/04 Z

F-Term (14)：

5F051AA14 , 5F051FA02 , 5F051GA03 , 5H032AA06 , 5H032AS16 , 5H032AS19 , 5H032BB02 , 5H032BB05 , 5H032BB06 , 5H032CC11 , 5H032EE02 , 5H032EE04 , 5H032EE07 , 5H032HH04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

多孔質酸化チタン皮膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-352799 Applicant：株式会社ニコン
酸化物膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-352800 Applicant：株式会社ニコン
ナノ構造体及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-110512 Applicant：キヤノン株式会社

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