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J-GLOBAL ID:200903093788162018

ウェ-ハの剥離方法および剥離装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 志賀 正武 (外9名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999005823
Publication number (International publication number):2000208449
Application date: Jan. 12, 1999
Publication date: Jul. 28, 2000
Summary:
【要約】【課題】 大径で重量のあるウェーハあるいは肉厚が薄く割れ易い太陽電池用ウェーハであっても支障なく的確に剥離することができるウェーハの剥離方法および剥離装置の提供。【解決手段】 カーボンCに接着されたウェーハ列WSを温水中に浸漬することにより、接着剤を軟化させた状態で、この温水中でカーボンCおよびワークハンガ1をウェーハ列WSから引き離すことにより、ウェーハ列WSの各ウェーハの軸線に沿った方向の動きに対して温水が緩衝材として働き、各ウェーハが傾いたりバラバラになることがない上に、各ウェーハどうしが所定の間隔および姿勢を保持するとともに、この水に濡れた状態のウェーハ列WSから、ウェーハを1枚ずつ面方向にずらすことにより、両ウェーハ間の密着する力をそいで容易にウェーハを剥離する。
Claim (excerpt):
固定部材に接着されたウェーハ列からウェーハを1枚ずつ剥離するウェーハの剥離方法であって、上記固定部材に接着されたウェーハ列を温水中に浸漬し、このウェーハ列を支持した状態で、上記固定部材を把持して上記ウェーハ列から分離する工程と、この固定部材を分離したウェーハ列の最端部から1枚ずつウェーハを面方向にずらすことによりウェーハ列からウェーハを剥離する工程とを具備したことを特徴とするウェーハの剥離方法。
IPC (2):
H01L 21/304 611 ,  H01L 21/68
FI (2):
H01L 21/304 611 A ,  H01L 21/68 A
F-Term (3):
5F031CA02 ,  5F031MA38 ,  5F031PA20
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
  • ウエハの処理システム
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平8-344385   Applicant:株式会社日平トヤマ
  • ウェハの剥離方法および装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平8-142000   Applicant:三菱マテリアル株式会社, 三菱マテリアルシリコン株式会社
  • 特開平2-025028
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