フィルター付ペリクル

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山本亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995222944
Publication number (International publication number)：1997068792
Application date： Aug. 31, 1995
Publication date： Mar. 11, 1997
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】外部の気圧変化によるペリクルの膨らみやへこみを解消するための気圧調節孔、この気圧調節孔からの異物の侵入を防止するフィルターを設けたフィルター付ペリクルにおいて、異物の侵入を防止し、フィルター内部の異物のペリクル内部への侵入を防止したフィルター付ペリクルを提供する。【解決手段】本発明のフィルター付ペリクルは、ペリクルフレームに気圧調整用の通気孔を少なくとも1つ設けてなるペリクルにおいて、該通気孔を覆うようにペリクルフレームの貼り付けられるフィルターの少なくとも一部が、前記貼り付けに用いられる粘着剤とは別に用いられた粘着剤により湿潤されていることを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

ペリクルフレームに気圧調整用の通気孔を少なくとも1つ設けてなるペリクルにおいて、該通気孔を覆うようにペリクルフレームが貼り付けられるフィルターの少なくとも一部が、前記貼り付けに用いられる粘着剤とは別に用いられた粘着剤により湿潤されていることを特徴とするフィルター付ペリクル。

IPC (2)：

G03F 1/14 , H01L 21/027

FI (2)：

G03F 1/14 K , H01L 21/30 502 P

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

リソグラフイ-用ペリクル
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-183251 Applicant：信越化学工業株式会社
フオトマスク及び半導体装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-272752 Applicant：セイコーエプソン株式会社
特表平5-508487

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